Tudományos kutatás Szemiconductors Optikai spektrum Spektroszkóp Ellipszóméter , China Tudományos kutatás Szemiconductors Optikai spektrum Spektroszkóp Ellipszóméter Manufacturers, Suppliers, Factory

Termékleírás

Spektroszkóp Ellipsométer

A spektrális ellipszometer gyors és többpontos automatikus tesztelést tud végrehajtani, és egy kattintással megvizsgálható a minta egyenletessége. A termék polarizátora, analizátora és kompenzátorának mindkét oldalán abszolút kódolású magas pontosságú helyzeti zároló eszközökkel vannak ellátni bágyonkompensációs funkcióval, amely növeli a rendszer pontosságát és stabilítását. Két szálú szerkezet alkalmazása a fénygyűjtési hatékonyság növelése érdekében, elég spektrumot lehet összegyűjteni az etčelt savos foltos felületekről vagy a konvencionális piramis alapokról a teszteléshez és elemzéshez. Emellett alapvető funkciókat is tartalmaz, például autofókuszt, fényerősség választást és fáziskompensációt.
Magas pontosságú és hatékonyságú anyagok optikai tulajdonságainak elemzésére tervezték. Automatikusan, gyorsan és
pontosan méri anyagok lomtani indexét, az elnémítási együtthatóját és a filmt vastagságát. Alkalmazható rögzített film és anyag jellemző szükségleteire a tudományos kutatásban, halványvezetésekben, fényerőművekben, fényoptikai fedésekben, megjelenítő panellekben és más területeken.

Mérési objektum:

Optikai fedés: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2,Pi.
Kijelző: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), elektrodák(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Naplóenergia: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Halványtestanyag: Fotoreziszt, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Egyéb: OCD, 2-D anyagok, Van der Waals heterojunkció és eszköz...

Termék függvénye:

Törési index mérése: Pontosan méri a anyagok törési indexét különböző hullámhosszoknál, amely kulcsfontosságú adatot biztosít a fényészeti tervezéshez és az anyagkutatáshoz.
Elhagyó együttható mérése: Elemzi a anyagok fényabszorbcziós jellemzőit, hogy segítsen optimalizálni az optoelektromos eszközök teljesítményét.
Filmvastagság mérés: Nanó- és mikron szintű filmek vastagságának érzékeny és jól ismétlődő felmérését támogatja.
Gyors automatikus tesztelés: Többpontos automatikus skennelési funkcióval, a mérési sebesség 1 másodperc/pont, amely jelentősen növeli a kötegelt tesztelés hatékonyságát.

Mérési elv:

Az ellipszmetria mérési elve az optikai visszaprstás polárisációs állapotának változásán alapul a közeg felszínénél előttőtt és utána, hogy megkapja az optikai tulajdonságokat és szerkezetinformációkat.

Az incidens sugár elektromos mezője két merőleges irányba bontható, a p fény a fény rezgéséhez párhuzamosan.
hullám, s fény merőleges a fényhullám rezgésére. A p és s fény amplitúdói és fázisai megváltoznak, amikor a sugár visszapattan a közeg felületéről.

A közeg fizikai tulajdonságai és a polarizációs állapot változása közötti összefüggés.

Eszköz működési környetege:

Feszültség: 220VAC+10%
Szobahőmérséklet: környezeti hőmérséklet (10-30)℃
Szubjektív páratartalom: (20-80)% RH

Spektrométer:

Érzékelő egység: 2048 pixelű gyors hátszínű CCD detektor
Részletes paraméterek:
1. spektrumtartomány jobb mint 350nm-1000nm
2. szórós fény<0,02%@400nm
3. jelezés-zaj arány 4800
4. dinamikus tartomány 50000:1
5. holográfiai fényút
6. digitális felbontás 16-bit
7. olvasási sebesség >400kHz
8. adatátviteli sebesség 600MB/s
9. minimális integrációs idő/igazítási lépés 6 us/1us
10. külső indítékozás késleltetése 95ns+/–20ns
11. számítógépes felület USB4.1C/2.0
12. operációs rendszer Win 7/in 8/Win 10
átlagos QE UV-szintre visszaépített CCD, átlagos QE ≥75% Hűtőrendszer mikro TE hűtés, a hűtés utáni hőmérséklet 30°C
kisebb mint a környezeti hőmérséklet.
Integrációs módszer szoftveres automatikus integrációs idő beállítása, elérheti a legjobb

Fényforrás-rendszer:

Fényforrás: halogén lámpa kvártus ággyal, hullámhossz-tartomány 350nm-2000nm, nincs leomlás, élettartam több mint 50000 óra.
Független tápegység halogén lámpa feszültségéhez: 4,9vd

Tábla automatikus fókuszáló funkcióval:

Mozdítsa el az mintát a legjobb mérési pozícióba az automatikus fókuszáló funkcióval. Ütem: 100mm
Pontosság: 0,0005mm. Pozíciókorlátozás mindkét irányban határértékkel és nullapozíciós érzékelővel; az automatikus fókuszáló funkció kezdőpozíciója, végpozíciója és lépéshossza beállítható a szoftverben Gauss-regressziós módszerrel; adott integrációs idő beállítása és intenzitás gyűjtése a Fókuszmódszerrel.

A termék szerkezete

Specifikáció

Optikai rendszer:

Bejárati szög	65°
Sugár elterjedés	< 0.3°
Mérési paraméterek	Psi&Del, TanPsi&CosDel, Alpha&Beta
Polarizerek	Glan-Thompson
Anyag	a-BBO
Kompensátor	negyed-hullám fázis-késleltetés, hiper akromatikus
Intenzitás kiválasztás	Lineáris optikai sűrűség kiválasztó elem. Biztosít jó jelezés-zaj arányt a mérési folyamatban, növeli az adatok pontosságát, elkerüli, hogy a fényintenzitás túlságosan erős vagy gyengének legyen, ami csökkentené a jelezés-zaj arányt és a pontosságot
Optikai tervezés	két szálra átvitel a lámpától a spektrométerhez polarizációs elemekon keresztül; stabil fényút, könnyen cserélhető lámpák
Szál	ellen-UV passziválás; NA=0.22; tiszta nyílás 600um
Mikroszkóp fényfolt	átmérő ≤200um, az elölről visszaverődő hasznos fény és az alulról visszaverődő hasznatlannak a különbségezésére, bontatható alsó felület, könnyű szedni össze
Szélű	1 50um, az elölről visszaverődő hasznos fény és az alsó felületről visszaverődő hasznatlannak a különbségezésére felület

Alapvető paraméter-választási táblázat:

Spektrális tartomány	350-1000nm	C			Látható
		210-1000nm	UC			UV-Világossági
		210-1700nm	Un			UV-Világossági-NIR
Optikai kompenzátor	RC				Egyenes kompenzátor
Optikai kompenzátor		RC2		C2		Kétszeres kompenzátor
Spektrális tartomány	X-Y			Férfi	Nagy útmutató eddig 230mm
Spektrális tartomány		X-R			R	Nagy átmérő maximum 300mm

Csomagolás & Szállítás

Vállalati profil

A Minder-Hightech értékesítési és szolgálati képviselő a halványvezeték- és elektronikai termék-iparág felszereltségében. 2014-től a cég az ügyfeleknek biztosít kiváló, megbízható és egyetlen forrásból származó megoldásokat a gépi felszereltség terén.

GYIK

1. Árkapcsolatos:
Az összes árunk versenyképes és tárgyalható. Az ár változhat a berendezés konfigurációja és testreszabás bonyolultságától függően.

2. Minta kapcsolatos:
Mintatermelt gyártási szolgáltatásokat tudunk biztosítani Önnek, de esetleges díjat kell fizetnie.

3. A fizetésről:
A terv megerősítése után először egy kezdeti tételt kell fizetnie nekünk, és a gyár elkezd előkészíteni a termékeket. A berendezés készenlété után, miután kiigazítottuk a maradékot, elküldjük azt.

4. A kézbesítésről:
Az eszközgyártás befejezése után küldünk neked a fogadási videót, és szintén meg is juthatsz a helyszínre az eszköz ellenőrzéséhez.

5. Telepítés és hibakeresés:
Az eszköz érkezését követően üzemmérnökeket küldhetünk az eszköz telepítéséhez és hibakereséséhez. Ezen szolgáltatásért külön ajánlatot fogunk tenni.

6. A garanciáról:
Az eszközünknek van 12 hónapos garanciái. A garancia lejárata után, ha bármelyik rész meghibásodik és cserére van szükség, csak anyagárakat számítunk fel.

Főoldal

Rólunk

MH Felszerelés

Megoldás

Külföldi Felhasználók

Videó

Kapcsolat

Tudományos kutatás Szemiconductors Optikai spektrum Spektroszkóp Ellipszóméter

Spektroszkóp Ellipsométer

Mérési objektum:

Termék függvénye:

Mérési elv:

Eszköz működési környetege:

Spektrométer:

Fényforrás-rendszer:

Tábla automatikus fókuszáló funkcióval:

További termékek

MD-FS sorozat kondenzátor szövetési gép

MD-FDS sorozat Automatikus kondenzátor szövetési gép

MD-EFS sorozat Kondenzátor Szövetési Gép

MD-EDFS sorozat film Kondenzátor Szövetési Gép

Kérés

Articles

Products

Get In Touch

Tudományos kutatás Szemiconductors Optikai spektrum Spektroszkóp Ellipszóméter

Spektroszkóp Ellipsométer

Mérési objektum:

Termék függvénye:

Mérési elv:

Eszköz működési környetege:

Spektrométer:

Fényforrás-rendszer:

Tábla automatikus fókuszáló funkcióval:

További termékek

Kérés

Articles

Products

Get In Touch

Lépjen kapcsolatba