Fésülési terület 350*400MM
Egyetlen tároló, két tároló, három tároló, néggy tároló;
Legnagyobb vakuumfok 10Pa
Oldali hőeltérés ±1%
Formianszidróg+nitrogén, csökkentő védelmi gáz
Siemens PLC Vezérlő Rendszer
Automatizált gyártási vízszintes konfiguráció, amely képes kapcsolódni IGBT-chip montázszerelő gépekhez, rövidítve a vízszintes ciklusokat és csökkentve a manuális műveleteket
MDVES -300A Folyamatterv három kabinyal rendelkező vakuum vízszintes sírkamra - Folyamatos feldolgozási idő 10 perc/tray