|
projekt
|
Specifikációk
|
megjegyzések
|
||
|
1 |
Berendezés áttekintése |
Készülék neve: Teljesen automatikus egyenletes illesztő fejlesztő gép
|
||
|
Készülék modellje: MD-2C2D6
|
||||
|
Feldolgozásos wafer specifikációk: kompatibilis 4/6-inch szabványos waferekkel
|
||||
|
Egyenletes illesztés folyamata: Virágkosár vágás → középre helyezés → egyenletes illesztés (csempésztés → egyenletes illesztés → szél távolítás, hátsó
mosás) → forró lap → hideg lap → kosár elhelyezése Fejlesztési folyamat: Virágkosár vágás → középre helyezés → fejlesztés (fejlesztőszerek → iontalan víz, hátsó mosás → nitrogén szárítás) → forró lap → hideg lap → kosár elhelyezése |
||||
|
Általános méretei (kb): 2100mm (Sz) * 1800mm (M) * 2100mm (M)
|
||||
|
Kémiai tároló méretei (kb): 1700(Sz) * 800(M) * 1600mm (M)
|
||||
|
Teljes súly (kb.): 1000kg
|
||||
|
Munkaasztal magassága: 1020 ± 50mm
|
||||
|
2 |
Kaszett egység
|
Mennyiség: 2
|
||
|
Kompatibilis méret: 4/6 inch
|
||||
|
Kaszett érzékelés: mikrovívkonzis érzékelés
|
||||
|
Kinyitás érzékelése: Igen, visszaverőjelű érzékelő
|
||||
|
3 |
robot |
Mennyiség: 1
|
||
|
Típus: Kétkarú vakuum adszorpció robot
|
||||
|
Szabadságfok: 4 tengelyes (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Ujjanyelv anyaga: kerámia
|
||||
|
Alapanyag rögzítési mód: vakuum adszorpció módszer
|
||||
|
Térképezési funkció: Igen
|
||||
|
Pozicionálási pontosság: ± 0,1mm
|
||||
|
4 |
Középre állító egység
|
Mennyiség: 1 készlet
|
Választható optikai igazítás
|
|
|
Igazítási módszer: mechanikus igazítás
|
||||
|
Középre állítási pontosság: ± 0,2mm
|
||||
|
5 |
Egyenletes klécsegység |
Mennyiség: 2 db (a következők az egyes egységek konfigurációi)
|
||
|
Tengervártnyi sebesség: -5000rpm~5000rpm
|
hordozó görcs
|
|||
|
Tengely forgási pontosság: ± 1prm (50prm~5000prm)
|
||||
|
Tengely forgási sebesség minimális beállítása: 1prm
|
||||
|
Tengely maximális gyorsulása: 20000prm/s
|
hordozó görcs
|
|||
|
Csöpögő kar: 1 db
|
||||
|
Fényérzékeny cső útvonalai: 2 útvonal
|
||||
|
Fényérzékeny nyomószelep átmérője: 2,5mm
|
||||
|
Fényérzékeny izoláció: 23 ± 0,5 ℃
|
opcionális
|
|||
|
Ragacsosztó nyomószelep: Igen
|
||||
|
RRC: Igen
|
||||
|
Pufferek: Igen, 200ml
|
||||
|
Klécscalapló módszer: középső klécscalapló és szkenneléses klécscalapló választható
|
||||
|
Szárazító kar: 1 db
|
||||
|
Szárazító nyomás átmérője: 0,2mm
|
||||
|
Szárazító folyadék folyási figyelés: zúzott árammérő
|
||||
|
Szárazító folyadék folyási tartomány: 5-50ml/perc
|
||||
|
Visszamerési csövek: 2 mód (minden nélkül 1 csatorna, 4/6 hüvelykes)
|
||||
|
Visszamerési folyamat figyelése: zúzott árammérő
|
||||
|
Visszamerési folyadék folyási tartomány: 20-200ml/perc
|
||||
|
Chiprőgzítési módszer: kis területű vakuumhözcsap
|
||||
|
Vakuum nyomás riasztás: digitális vakuum nyomásterőmérő
|
||||
|
Fogantyú anyaga: PPS
|
||||
|
Kupanyag: PP
|
||||
|
Kupaventíl figyelése: digitális nyomásterőmérő
|
||||
|
6 |
Fejlesztő egység |
Lámpafedező: igen
|
||
|
Mennyiség: 2 db (a következők az egyes egységek konfigurációi)
|
||||
|
Tengervártnyi sebesség: -5000rpm~5000rpm
|
hordozó görcs
|
|||
|
Tengely forgási pontosság: ± 1prm (50prm~5000prm)
|
||||
|
Tengely forgási sebesség minimális beállítása: 1prm
|
||||
|
Tengely maximális gyorsulása: 20000prm/s
|
hordozó görcs
|
|||
|
Fejlesztő kar: 1 db
|
||||
|
Fejlesztő csővezeték: 2-út (kifogó alakú/oszlop alakú szórócsöv)
|
||||
|
Fejlesztőszerek szűrése: 0,2um
|
||||
|
Fejlesztőhőmérséklet ellenőrzés: 23 ± 0,5 ℃
|
opcionális
|
|||
|
Fejlesztő megoldás áramlási tartomány: 100~1000ml/perc
|
||||
|
A fejlesztőkar mozdulati módja: rögzített pont vagy skennelés
|
||||
|
Fűzési kar: 1 db
|
||||
|
Deionizált víz csatorna: 1 kör
|
||||
|
Deionizált víz zuhanyfej átmérője: 4mm (belső átmérő)
|
||||
|
Deionizált víz áramlási tartomány: 100~1000ml/perc
|
||||
|
Nitrogén szárítócsatorna: 1 kör
|
||||
|
Nitrogén zuhanyfej átmérője: 4mm (belső átmérő)
|
||||
|
Nitrogén áramlási tartomány: 5-50L/perc
|
||||
|
Fejlesztő, deionizált víz, nitrogén áramlási figyelése: hajlítási árammérő
|
||||
|
Visszamerési csövek: 2 mód (minden nélkül 1 csatorna, 4/6 hüvelykes)
|
||||
|
Visszamerési folyamat figyelése: zúzott árammérő
|
||||
|
Visszamerési folyadék folyási tartomány: 20-200ml/perc
|
||||
|
Chiprőgzítési módszer: kis területű vakuumhözcsap
|
||||
|
Vakuum nyomás riasztás: digitális vakuum nyomásterőmérő
|
||||
|
Fogantyú anyaga: PPS
|
||||
|
Fogantyú anyaga: PPS
|
||||
|
Kupanyag: PP
|
||||
|
Kupaventíl figyelése: digitális nyomásterőmérő
|
||||
|
7 |
Leragasztó egység |
Mennyiség: 2
|
opcionális
|
|
|
Hőmérsékleti tartomány: szobahő~180 ℃
|
||||
|
Hőegyenletesség: Szobahő~120 ℃± 0,75 ℃
120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ (A szél 10 mm eltávolítása a szélső élektől, kivéve az ejtőrúd nyomásnyomaszt) |
||||
|
Minimális beállítási mennyiség: 0,1 ° C
|
||||
|
Hővezérlési módszer: PID-alkalmazás
|
||||
|
PIN magasság-tartomány: 0-20mm
|
||||
|
PIN anyag: test SUS304, PIN rúd teteje PI
|
||||
|
Sütemény távolsága: 0,2mm
|
||||
|
Hőmérsékleti figyelmeztetés: pozitív és negatív eltérés figyelmeztetés
|
||||
|
Ellátási módszer: Buborékolás, 10 ± 2ml/perc
|
||||
|
Kamra működési vakuum: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
Forró pult egység |
Mennyiség: 10
|
||
|
Hőmérsékleti tartomány: szobahőmérséklet~250 ℃
|
||||
|
Hőegyenletesség: Szobahő~120 ℃± 0,75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (A szél 10 mm eltávolítása a szélső élektől, kivéve az ejtőrúd nyomásnyomaszt) |
||||
|
Legkisebb beállítási mennyiség: 0.1 ℃
|
||||
|
Hővezérlési módszer: PID-alkalmazás
|
||||
|
PIN magasság-tartomány: 0-20mm
|
||||
|
PIN anyag: test SUS304, PIN rúd teteje PI
|
||||
|
Sütemény távolsága: 0,2mm
|
||||
|
Hőmérsékleti figyelmeztetés: pozitív és negatív eltérés figyelmeztetés
|
||||
|
9 |
Hideg pult egység
|
Mennyiség: 2
|
||
|
Hőmérsékleti tartomány: 15-25 ℃
|
||||
|
Hűtési módszer: állandó hőmérsékletű cirkulációs趸hűtés
|
||||
|
10 |
Kémiai ellátás |
Fényérzékeny anyag tárolása: pneumatikus lipómpumpa * 4 db (Választható tároló vagy elektrikus lipómpumpa)
|
||
|
Lipózati mennyiség: maximum 12ml egy műveletenként, pontosság ± 0.2ml
|
||||
|
Szála eltávolítása/hátszoros mosás/RRC ellátás: 18L nyomásvessző * 2 (automatikus feltöltés)
|
||||
|
Szála eltávolítás/hátszoros mosás/RRC szint figyelése: fényelektronikus érzékelő
|
||||
|
Fényérzékeny anyag szint figyelése: fényelektronikus érzékelő
|
||||
|
Egyenletes lipó hulladékvíz kiszivárgatása: 10L hulladékvíz tároló
|
||||
|
Fejlesztő ellátás: 18L nyomásvessző * 4 (A gép külső kémiai szekrényben tárolva)
|
||||
|
Deionizált víz ellátás: gyár közvetlen ellátása
|
||||
|
Folyadkosszint-figyelés fejlesztése: fényérzékeny érzékelő
|
||||
|
Fejlesztő hulladék eldobása: gyár hulladék eldobása
|
||||
|
Ragasztló beszerzése: 10L nyomásterület * 1, 2L nyomásterület * 1
|
||||
|
Ragasztló szint-figyelése: fényérzékeny érzékelő
|
||||
|
11 |
vezérlőrendszer |
Szabályozási módszer: PLC
|
||
|
Ember-gép műveleti felület: 17 hüvelykes érintőképernyő
|
||||
|
Folytonos Energiatartalék (UPS): Igen
|
||||
|
Eszközoperátorok, műszaki szakemberek, rendszergazdák jogosultságainak titkosítása
|
||||
|
Jelzötár típusa: piros, sárga, zöld 3 szín
|
||||
|
12 |
Rendszer megbízhatósági mutatók
|
Felügyeleti idő: ≥95%
|
||
|
MTBF: ≥ 500h
|
||||
|
MTTR: ≤ 4h
|
||||
|
MTBA： ≥24h
|
||||
|
Töredékesedés aránya: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Egyéb feladatok
|
Sárga fény: 4 db (pozíció: a csempe keverési és fejlesztési egység felett)
|
||
|
THC: Igen, 22,5 ℃± 0,5 ℃, 45% ± 2%
|
opcionális
|
|||
|
FFU: 100. osztály, 5 db (folyamat-egység és ROBOT terület)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
