MDHS-AL8 8" Teljesen automatikus egyoldalas litográfiai gép , China MDHS-AL8 8" Teljesen automatikus egyoldalas litográfiai gép Manufacturers, Suppliers, Factory

Termékleírás

MDHS-AL8 8" Teljesen automatikus egyoldalas litográfiai gép

1. Működési mód: A betöltési robot automatikusan betölti a vékonytestvényeket az A-B (újrahasznosítható) testvénydobozból az előzetes pozicionálási...

munkamenet, és a kamera pozícionáló réteg és automatikus forgatási rendszer beállításával elérhető a réteg előzetes pozicionálása; A betöltési robot majd betölti az előre pozicionált rétegeket a megfelelítő munkamenetre. Számítógépes képfelismerés és automatikus rendszerbeállítás segítségével elérhető a maszk és a rétegek grafikonjainak automatikus megfelelítése. Lehetőség van egy megfelelítés nélküli kilátást is végrehajtani. Az átfényezési rendszer automatikus átfényezés után a kibontás robotja automatikusan helyezi el a rétegeket a C-D (újrahasznosítható) rétegdobozba.
2. Átfényezési terület: 160 × 160mm;
3. Átfényezési fényerősség egyenletesége: ≤ 3%;
4. Átfényezési erősség: 0~≥ 40mw/cm2 szabályozható ( Sugárzás szöge 2 °);
5. UV sugárzás szöge: ≤ 3 °;
6. UV sugárzás középsugárhossz: 365nm;
7. UV forrás élettartama: ≥ 20000 óra;
8. Elválasztási kapacitás: 0~≥ 1000um szabályozható;
9. Megfelelítési pontosság: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Vizsgálati pontosság: Kapcsolati vizsgálat ± 1 μm. Közelíti a vizsgálatot 20 μM sugarú szög 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Vizsgálati módszerek: kemény kapcsolat, lágy kapcsolat és közelítő vizsgálat;
12. Vizsgálati mód: Választható egy alkalommal történő vizsgálat vagy eltolásos vizsgálat
13. Előzetes pozicionálási képfelismerési és automatikus forgatási rendszer (beleértve az előzetes pozicionálási munkamenetet): forgási szög Q ≥ ± 180 °, forgási pontosság Q ≤ 0,01 °;
14. Képfelismerési és automatikus igazítási rendszer (beleértve az UVW igazítási munkamenetet): igazítási tartomány X Y ≥ ± 5mm, forgási szög Q ≥ ± 3 °, és a mikroszkóp két lencséje két XYZ elektronikus platform által irányítottak.
15. Mask mérete: 5 "× 5" és 7" × 7 ";
16. Wafertartó mérete: 4 "és 6";
17. Felső és alsó filomban tároló munkaasztalok: dupla munkaasztal;
18. Lábpolster légbalfüggvény
19. Betöltési és kiürítési két karú robotkar: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Vashordók száma a vashordóból: a vásárló vashordójában lévő vashordók számának alapján meghatározott;
21. Pozícionáló asztal emelése: Z ≥ ± 25mm;
22. Kitetés időpontja: 0 és 999,9 másodperc között igazítható;
23. Gyártási ritmus:> 120 darab óránként;
24. Áramellátás: egyfázisú AC220V 50Hz, fogyasztás ≤ 3KW;
25. Tisztító légnyomás: ≥ 0,4MPa;
26. Üreszövezet: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Méret: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Súly: Közelítőleg 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Ez az eszköz egy LED ultraviolett kitetős fej, egy képfelismerési és automatikus forgatási rendszer, egy előzetesen pozícionált munkamenet, valamint egy kép alapú felismerési és automatikus igazítási rendszert tartalmaz, amelyhez igazítási munkamenetek, betöltési robotok, kibocsátási robotok, rácsok és villamos vezérlési berendezések tartoznak, valamint mellékletek stb.

Specifikáció

1. Vizsgálati fej: Egy LED UV-világító fej (365nm);
2. Képfelismerés és előzetes igazításas munkamenet:
1) 1 kamera (1,3 millió pixel)
2) Középpontos pozícionáló berendezés
3) 1 forgó asztal (szervomotor használatával)
4) 1 pozícionáló rendszer
3. Képfelismerés és automatikus igazítási rendszer:
1) 2 kamera (5 millió pixel magas képkockasebességű)
2) 2 lencse (4x magas-biztonsági lencse)
3) Egy ipari számítógép
4) Egy vezérlő (PLC által ellenőrzött)
5) Egy igazítási platform készlete (5-fázisú léptetőmotor használatával)
6) Egy sportrendszer
7) A tetejlap eszköz motorral rendelkezik emelésre és leszállításra
7) A szoftver a LabVIEW Professional Edition legújabb verzióját használja
4. Betöltési és kibocsátó mechanikai kar:
1) X Y. Z automatikus mozgató mechanizmus
2) Kétkarú robotkar (betöltési és kibocsátó karok)
5. Wafer doboz rögzítő mechanizmus:
1) AB a tápegység doboz rögzített helyezése
2) A CD a vágófilm doboz rögzített helyzetét jelöli
3) A G a NG pozíció film doboz rögzített helyzetét jelöli
6. Kamera rögzítő platform:
7. Két Y.Z elektrikus igazítási mechanizmus (szervomotorokkal ellenőrzött)
8. Rész és villamos ellenőrző konzol:
1) 1 ipari számítógép
2) Egy PLC rendszer;
3) Egy elektromos zsúfolócsaprendszer és ellenőrző rendszer
4) Egy számítógépes légtechnikai eszközök csomagja
5) Egy ellenőrző konzol
8. Tárgyak mentéshez:
1) Tracheális: 15 méter
2) 2 szervócsap
3) Vakuum-pumpa: 1 db
9. Technikai adatok:
1) Egy felhasználói kézikönyv
2) Egy megfelelőségi tanúsítvány
10. További
A berendezés szoftverének SECS kommunikációs protokollal kell rendelkeznie, és a vevő biztosít egy dinamikus könyvtárral az összekapcsolás funkciója miatt a vevő MES-rendszerével, amely automatikusan felviszi a termék sorszáma, a munkahely száma és az operációs állapotot, valamint feltölti őket. Ugyanakkor rendelkezik azonosítási funkcióval a maszklap QR kódjának, amelyet összehasonlít a MASZ-rendszer maszklap QR-kódjával, és megakadályozza a helytelen maszklap elfogadását.

Csomagolás & Szállítás