szerkezet |
mutatás |
A szekrény kijelentése |
Kijelentés területe: szekrény, anyag elhelyezési terület |
Optikai rendszer |
Lézerbocsátás formázási terület |
Környezeti ellenőrző rendszer |
A berendezés belsejében lévő hőmérséklet és pozitív nyomás irányítása |
Alaprendszer |
Ellenőrzi az expozíciós asztal mozgását, hogy befejezze az expozíciós út műveletét |
Vezérlőrendszer |
Az egész berendezés ellenőrző rendszere |
Nem. |
Környezet |
Igényel |
1 |
Fényforrás környezet |
Sárga fény |
2 |
Hőmérséklet |
22℃±2℃ |
3 |
Páratartalom |
50%±10% |
4 |
Fenntartására |
1000 |
5 |
CDA |
0,6±0,1Mpa, 200LPM, száraz, tisztaszivattyú levegő |
6 |
Energiaellátás |
220~240V, 50/60Hz, 2,5KW; A talpvezeték kötelezően összekapcsolva kell lennie. |
7 |
Hűtővíz |
Hőmérséklet：10℃~ 20℃ Nyomás：0.3MPa ~ 0.5MPa Áramlási sebesség：20L/min Nyomati változás：0.3MPa felett Csatlakozási átmérő：Rc3/8 |
8 |
Helyszín |
szint：±3mm/3000mm ingadozás：VC-B Gördülék：750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Egy hálózati csatlakozó |
11 |
Gép mérete |
1300*1100*2100mm |
12 |
Eszköz tömege |
1500kg |
Nem. |
Projekt |
Spec. |
Megjegyzés |
1 |
Felbontás |
0.6um/vagy más követelmény |
AZ703、AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Hordozó vastagsága |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Dátum rács pontosság |
60nm |
|
5 |
Fedés |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Csatolási pontosság |
±200nm |
AZ703 |
7 |
MAX expozíciós méret |
190X190mm |
|
8 |
Átviteli sebesség |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm²; |
9 |
fényforrás |
LD 375nm |
|
10 |
fényerő |
6W |
|
11 |
Energia egyenleteség |
≥95% |
|
12 |
fény élettartama |
10000h |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
