Bevezetés:
Ez a berendezés főként egy rozsdamentes acélból készült vákuumkamrából, egy mágneses porlasztási céltáblából, egy elpárologtatással történő bevonóberendezésből, minták elhelyezésére szolgáló mintaasztalból, egy vákuumszivattyú-egységből, egy vákuummérő műszerből, egy levegőbevezető rendszerből és egy vezérlőrendszerből áll. A berendezés fő egységét érintőképernyőn keresztül működtetik, és hőmérséklet-szabályozó műszerrel ellenőrzik. A digitális paraméterfelület és az automatizált működés kiváló kutatási és fejlesztési platformot nyújt a felhasználók számára. A vákuumkamra alulról elhelyezett céltáblás kialakítású, és a mintaasztal fűtési és forgási funkciókkal rendelkezik, amelyek segítségével a bevonás hatékonyabban és egyenletesebben érhető el. A berendezés vákuumelérési rendszere kétfokozatú vákuumszivattyú-csoportot alkalmaz. Az első fokozat szivattyúja egy nagysebességű mechanikus szivattyú, amely hatékonyan csökkenti a normál nyomásról az alacsony vákuumra való átállás idejét. A fő szivattyú egy nagy szívósebességű turbómolekuláris szivattyú, amely gyorsabb vákuumelérést tesz lehetővé. Az egész vákuumelérési rendszer tiszta és gyors.
Alkalmazás:
Egy- vagy többrétegű ferroelektromos vékonyfilmek, vezető rétegek, ötvözet-filmek, féligvezető-filmek, kerámiarétegek, dielektrikus rétegek, optikai rétegek stb. előállítására használható.