
UV-fényforrás középhullámhossza |
405 nm |
Expozíció egyenletessége |
Több mint 90% |
Minimális elem vonalvastagsága |
0,5 µm |
Egyszeri átmenetben írt exponált mező területe |
0,16*0,16 mm (@0,5 µm) |
Írási sebesség |
80 mm²/perc (1 µm vonalvastagság) |
Támogatott képformátumok |
DXF, GDS, bmp, png, stb. |
Konfiguráció |
Alapverzió |
Professzionális változat |
|
Fényforrás |
Nagy teljesítményű LED: 405 nm |
||
DMD chip |
DLP6500 |
||
Egyszeri expozíciós terület |
0,16×0,16 mm (@0,5 µm), 0,4×0,4 mm (@0,7 µm), 0,8×0,8 mm (@1 µm), 1,6×1,6 mm (@2 µm) |
||
KAMERA |
Nagy felületű mikroszkópkamera (méretmérés támogatásával) |
||
Minimális egyenlő távolságú vonalszélesség |
0,8 µm |
0.5μm |
|
Csatolási pontosság |
±0,3 µm |
±0,3 µm |
|
Átfedési pontosság |
±0,5 µm |
±0,5 μm |
|
Írási sebesség |
20 mm²/perc (1 µm-es vonalszélességű elemmel) |
80 mm²/perc (1 µm-es vonalszélességű elemmel) |
|
Mozgásasztal |
Nagypontosságú lineáris motor (ismételhető pozícionálási pontosság ±0,25 µm), szintező mechanizmus, kézi forgatóasztal |
Nagypontosságú lineáris motor (ismételhető pozícionálási pontosság ±0,25 µm), szintező mechanizmus, elektromos forgatóasztal |
|
Objektívcsere-eszköz |
Kézi objektívcsere |
Motoros objektívcsere |
|
Fókuszáló modul |
CCD-kép alapú automatikus fókuszálás |
Lézeres aktív fókuszálás |
|
Támogatott lemezméretek |
4 centiméter |
4 inch / 8 inch |
|
Minta vastagsága |
0-10mm |
0–10 mm |
|















Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved