


|
Wafert méret
|
4”~ 8” lemez
|
|
Halvány vastagság
|
100~750 mikron
|
|
Lemez típus
|
Si, SiC, GaN vagy más anyagok
|
|
Film típus
|
Kék filé, UV filé
Szélesség: 230 ~ 300 mm Hossz: 100 m Vastagság: 0,05 ~ 0,2 mm |
|
Lapcsavtartó gyűrű
|
6”, 8” DISCO
|
|
Betöltési és kibontási módszer
|
Kézi lapcsav-/gyűrűhelyezés és eltávolítás
|
|
Filé pozícionálási pontosság
|
±0.5mm
Szabványos 6” és 8” szivattyú lemezek 6” és 8” szivattyúkhoz |
|
Vákuum szivattyú
|
Minder-Hightech
|
|
Ellenálló vezérlés
|
Deionizáló ventilátor
|
|
Irányítási egység
|
PLC vezérlés alapján, 10” érintőképernyővel
|
|
Biztonsági védelem
|
Fénykortinavédelemmel és sürgős leállítási gombbal rendelkező
|
|
Áramellátási feszültség
|
Egyfázisú AC 220V, 16A
|
|
Sűrített levegő
|
0.45~0.6MPa, áramlási sebesség 70L/perc
|
|
Gépkötés
|
Fehér plastikkal festett fémmászkövezet
|
|
Térfogat
|
850mm (szélesség)*1750mm (mélység)*1970mm (magasság)
|
|
Nettó súly
|
480kg
|


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved