MDLB-MC200 Fotomászk tisztító

Nem.

Projekt

Specifikációk

Megjegyzések

1

Berendezés áttekintése

Eszköz neve: Fotomászk takarító

Berendezés modellje: MDLB-MC200

Általános méretek (kb): 1300mm (S) * 1000mm (M) * 1950mm (M)

Teljes súly (kb): 300KG

Működési asztal magassága: 900 ± 50mm

Alapmértékek: alkalmas 2/4/5/6/8 inch négyzetes másk lapokhoz

Folyamatmenet: kézzel történő lemezes telepítés → takarítás (kosár, takarítóvíz → magas nyomású víz → megafonos víz → ionmentes víz → nitrogén gáz szárítás) → kézzel történő lemezes eltávolítás

Eszköz típusa: félautomatikus, kézi betöltés és kiürítés

2

Eszköz építése

Kasznya: rostmentes acélból, sima, rosszidomány ellenálló, könnyen tisztítható

Tisztítási komor: PP, sima, rosszidomány ellenálló, könnyen tisztítható

Csőrendszer: PU/PFA csövek használata

Munkafényszerelés: rosszidomány-ellenes sárga fényű érdekelt

Ajtónyitás típusa: Kettős ajtó ajtónyitási riasztási funkcióval

Érintőképernyő: 10 hüvelykös teljes színes érintőképernyő * 1

FFU: 100. osztály

Fekete víz alaptámogató: elérhető

3

Nagy precizitású szervomotor

Mennyiség: 1

Sebesség: -3000~3000 áramforgalom

Üres terhelés

Legnagyobb tengelyforgás gyorsulása: 3000 áramforgalom/s

Üres terhelés

Sebesség pontosság: ± 1 áramforgalom (50 áramforgalom~3000 áramforgalom)

Sebesség felbontás: 1 áramforgalom

4

Automatikus inga kar

Mennyiség: 3

Inga kar sebesség: 1~30 °/s

5

Tisztítási egység

Tisztítási inga kar: 1 csatorna deionizált vízzel, 1 csatorna nitrogéngázzal

Megasonic kar: 1 Megasonic, 1 magas nyomású víz

Vassalókar: 1 vassaló, 1 víz, 1 táplálék

Tisztítási módszer: automatikus tisztítás

Deionizált víz felszívása: elérhető

Hátszivás (deionizált víz): 1 útvonal

Ellátási módszer: Táplálék: Membránpumpa

Deionizált víz: gyár által közvetlenül ellátva

Nyomásvadász folyadék szint detektálással

6

Vassalóvassaló

Mennyiség: 1 (önmagát tisztító funkcióval)

Sebesség: maximum 1000 fordulat/perc, szabályozható sebesség

Magasság kézzel állítható

7

Töltéstray

Mennyiség: 5

Anyag: PPS+élesztetlen acél

Méret: Alkalmazható 2/4/5/6/8 hüvelykes négyzetes maszk lapokhoz

Alapanyag rögzítési mód: Zár rögzítési mód

8

Vezérlőrendszer

Vezérlőrendszer: PLC vezérlés használata

Program: 100 csoport, mindegyik csoport 100 lépésből áll, maximum 3000.0 másodperc egyetlen lépés időtartama

Felderítés: 0.1S

A program el lehet menteni, meghívni, módosítani és törölni

Titkosítási engedélyek beállítása: a készülék operátorai, műszaki szakemberek, rendszergazdák és gyártók számára rendre

Jelzötár típusa: piros, sárga, zöld 3 szín