Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Ajánlat kérése

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Főoldal
Rólunk
MH Equipment
Megoldás
Külföldi Felhasználók
Videó
Lépjen kapcsolatba velünk
Főoldal> Wafer Grinder
  • Magas pontosságú Kémiai Mechanikai Pályázati (CMP) folyamat
  • Magas pontosságú Kémiai Mechanikai Pályázati (CMP) folyamat
  • Magas pontosságú Kémiai Mechanikai Pályázati (CMP) folyamat
  • Magas pontosságú Kémiai Mechanikai Pályázati (CMP) folyamat
  • Magas pontosságú Kémiai Mechanikai Pályázati (CMP) folyamat
  • Magas pontosságú Kémiai Mechanikai Pályázati (CMP) folyamat
  • Magas pontosságú Kémiai Mechanikai Pályázati (CMP) folyamat
  • Magas pontosságú Kémiai Mechanikai Pályázati (CMP) folyamat

Magas pontosságú Kémiai Mechanikai Pályázati (CMP) folyamat

Ingyenes ajánlat kérése
Termékleírás

Nagy Precizitás Kémiai mechanikai síklás (CMP) eszköz

A precision CMP eszköz hatékonyan eltávolítja a túlerő anyagokat a vashelyek felületeiről és globálisan nanós méretű síklást ér el a kémiai korrózió és a mechanikai mérgezés együttműködésének hatására.
Többféle hasznos kémiai pótoló gép, amely speciálisan tervezték a CMP és a fedőanyag pótolás alkalmazásaira, amelyek szigorú geometriai pontosságot és felületi minőséget igényelnek, és nanométer alatti szintű Ra-t érhet el.
Ez a berendezés pontos nanóméter szintű pólvesszeltést végezhet egyes formákon, valamint 8 inch átmérőjű vékony lemezeket is pólvesszelve. Emellett nemcsak a hagyományos pólvesszelségi alkalmazásokban, mint például a kemény alapanyagok pólvesszelségében, az Epi felület előkészítésében és a ciperek újrahasznosításánál is használható.
A CDP sorozatú gépek különféle anyagokhoz és folyamatigényekhez való alkalmazkodásához a mérnökök technikai igényeknek megfelelően terveznek és kialakítanak megfelelő pólvessző-sablonokat, hogy pontosan elérjék a CMP folyamat követelményeit. A bal oldali kép egyetlen, 8 inch átmérőjű wafer tartományát mutatja.
A CDP gépeken pólvesszeltetett waferek vagy eszközök pontos mérése és ellenőrzése érdekében kidolgoztunk egy EPD rendszert, amelynek testreszabott CDP skanáló grafikus programja laptopokon fut. Ez a program figyeli és grafikusan ábrázolja a pólvesszelségi folyamatot, és automatikusan leáll, amikor elérve van a végpont.
Elősegíti a túlzott pótolás elkerülését. A CDP skennelés szintén biztonsági funkcióként is szolgálhat. Ha észlelhető változások merülnek fel bármely figyelt folyamatparaméterben, a CDP Scan hangos riasztást indít, hogy segítsen a túlzott pótolás megakadályozásában. Ilyen példák a tartó sebességének az előre beállított értékből való megváltoztatása. Az EPD rendszer észleli ezt az esetet, mivel a pad és a pótolni kívánt anyag közötti súrlódási szint megváltozik a tartó sebességének bármely változására, ami veszélyeztetheti a vashártya sikeres síkforgalását. Ezen ponton az EPD rendszer hangos riasztást indít a rács eltávolítása a pad felületéről, vagy automatikus leállításra is beállítható.
Az ACP rendszer szélesebb alkalmazási területen használható, és a diagram mutatja a CMP folyamat tesztjeinek eredményeit síkmérge-oxidra, rézre, síkmérge-nitridra, alumínium-rézre, síkmérge-germániumra és wolfrámmra vonatkozóan.
A diagram azt mutatja, hogy a CMP folyamat után a WTWNU 2,82%-ra juthat.
Alkalmazás
Silíciumvashártya síkforgalása
II-V összetevők síkforgalása
Oxid síkítás
Infravörös anyag alapanyagok síkítása
Zaffér, gallium nitrid és szilíciumkarbídes alapanyagok síkítása, EPI alapanyag síkítás
SOS és SOI rétegű silícium lefinomítása 20 mícron alá
Hierarchikus visszafejlesztés vagy FA alkalmazások
Specifikáció
Energiaellátás
220v 10A
Wafert méret
4”/100mm
6”/150mm
8”/200mm
12”/300mm
Működési lemezes átmérő
520mm, 780mm
Működési lemez sebessége
0-120 fordulatszám per perc
Rögzítő sebessége
0-120 fordulatszám per perc
Rögzítő inga frekvencia
0-30spm
Wafertábla hátuljának nyomása
0-150psi
Nyomás a wafertábla középpontjában
0-50psi
Időzített idő
0-10 h
Ellátócsatorna
≥2
Betáplálási sebesség
0-150ml/perc
Csomagolás & Szállítás
Vállalati profil
A Minder-Hightech értékesítési és szolgálati képviselő a halványvezeték- és elektronikai termék-iparág felszereltségében. 2014-től a cég az ügyfeleknek biztosít kiváló, megbízható és egyetlen forrásból származó megoldásokat a gépi felszereltség terén.
GYIK
1. Árkapcsolatos:
Az összes árunk versenyképes és tárgyalható. Az ár változhat a berendezés konfigurációja és testreszabás bonyolultságától függően.

2. Minta kapcsolatos:
Mintatermelt gyártási szolgáltatásokat tudunk biztosítani Önnek, de esetleges díjat kell fizetnie.

3. A fizetésről:
A terv megerősítése után először egy befizetést kell tenni nekünk, és a gyár elkezdi az áruk előkészítését. Miután
a berendezés készen áll, és kiigazítottad a maradékot, elküldjük.

4. A kézbesítésről:
Az eszközgyártás befejezése után küldünk neked a fogadási videót, és szintén meg is juthatsz a helyszínre az eszköz ellenőrzéséhez.

5. Telepítés és hibakeresés:
Az eszköz érkezését követően üzemmérnökeket küldhetünk az eszköz telepítéséhez és hibakereséséhez. Ezen szolgáltatásért külön ajánlatot fogunk tenni.

6. A garanciáról:
Az eszközünknek van 12 hónapos garanciái. A garancia lejárata után, ha bármelyik rész meghibásodik és cserére van szükség, csak anyagárakat számítunk fel.

További termékek

Vizsgálat

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Adatvédelmi szabályzat

Vizsgálat Email WhatsApp Top
×

Vegye fel a kapcsolatot