





| Projekt    | Tartalom    | 
| Termék típusa  | 6", 8", 12" keretű wafer  | 
| 2D vizsgálati elemek  | Idegen anyag, maradék klé, részecskék, csúszások, törések, befeltétel, CP elterjedés, túlzott terület stb.  Vágócsatorna elterjedés és cserélődés | 
| Vágási útvonal ellenőrzési elemek  | 6", 8", 12" keret kassétta  | 
| Lencse és Felbontás  | 2x (2,75 µm) / 3,5x (1,57 µm) /  5x (1,1 µm) / 7,5x (0,73 µm) / 10x (0,55 µm) | 
| Pontosság    | 0,55 µm/pixel  | 
| Opcionális és Testreszabott  | Tinta modul, infravörös modul  | 







Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved