Anyagmaratási Réteglehordási Reakció Iontüzelőgép RIE , China Anyagmaratási Réteglehordási Reakció Iontüzelőgép RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Termékleírás

RIE Reaktív Ionsugaras Maratógép

Az RIE reaktív ionsugaras maratógépek kutatási alkalmazásai a félvezetőgyártás és a mikro-nano feldolgozás területén elsősorban a nanoméretű struktúrák feldolgozásában, új anyagok maratásában, összetett eszközök gyártásában és az interdiszciplináris technológiákban való áttörésekben jelennek meg. Alapvető értéke a fizikai bombázás és kémiai reakciók összehangolt szabályozásával megvalósított nagypontosságú és nagy szelektivitású anyageltávolításban rejlik. Támogatja a félvezetőtechnológia és eszközök korszerű megközelítéseinek és újításainak kutatását.

A berendezés jellemzői:

1. Magas pontosság és anizotrópia: Olyan ábrák maratására képes, amelyek meredek oldalfalakkal és pontos méretekkel rendelkeznek.
2. Kiemelkedő egyenletesség és ismételhetőség: alkalmas nagy léptékű gyártásra.
3. Széles anyagalkalmazhatóság: Különböző gázkeverékek kiválasztásával különféle anyagok (félvezetők, dielektrikumok, fémek stb.) marathatók.
4. Magas szelektivitási arány: Pontosan meg lehet maratni adott anyagokat anélkül, hogy jelentős kárt okozna más anyagokban.
5. Tisztítás: Száraz folyamat, elkerülve a nedves marásból fakadó problémákat, mint például a tisztítás és a hulladékfolyadék-kezelés.

Specifikáció

Rendszer konfiguráció:

Elektromos fűtés	Kamra (Egykamrás)
Elektromos fűtés		N/A
Alsó elektród típus	242mm
Folyamat hőmérsékleti tartomány	-20-100°C
PLASMA forrás	600W-1000W
Folyamat nyomásmérő méret	100mtorr
Vákuumrendszer	Molekularis szivattyú egységek, száraz szivattyú rendszerek, feldolgozó kamra
A marási kamrák száma	Egyhős
Feltartók	Típus	Méret/mm	Anyag
Feltartók		N/A	8, 6, 4, 3, 2
Végpont érzékelő	Opció
Indukciós csatolású plazma	Opció

Műszaki paraméter:

Etching anyag	Si, Sio, Sin, Sau, Pt, Al
Marási sebesség	>20 nm/min (SiO2 anyag) A különböző anyagok marási sebessége eltérő
Elosztott vezérlés	>85°
Betöltési mód	Nyitott betöltés
MFC által vezérelt gázvezeték	Hat gáztartály áll rendelkezésre
Hélium hátlapi hűtési opció	Igen
Ember-gép köztes felület	Érintőképernyős kezelés
Működési mód	Teljesen automatikus mód, nem teljesen automatikus mód
Automatikus eszközök kiválasztása és konfigurálása	Választhat import vagy hazai alkatrész

A kérelmek

Csomagolás & Szállítás

Vállalati profil

2014 óta a Minder-Hightech értékesítési és szervizképviseletként működik a félvezető és elektronikai iparberendezések szektorában. Az a célunk, hogy a vásárlóinknak Kiváló, Megbízható és Komplett megoldásokat biztosítsunk gépi berendezések terén. Napjainkban már márkánk termékei elértek a világ főbb iparosodott országaiba, segítve a vásárlókat a hatékonyság növelésében, költségcsökkentésben és termékminőség javításában.

GYIK

1. Árkapcsolatos:
Az összes árunk versenyképes és tárgyalható. Az ár változhat a berendezés konfigurációja és testreszabás bonyolultságától függően.

2. Minta kapcsolatos:
Mintatermelt gyártási szolgáltatásokat tudunk biztosítani Önnek, de esetleges díjat kell fizetnie.

3. Fizetésről:
A terv megerősítése után először egy kezdeti tételt kell fizetnie nekünk, és a gyár elkezd előkészíteni a termékeket. A berendezés készenlété után, miután kiigazítottuk a maradékot, elküldjük azt.

4. A kézbesítésről:
Az eszközgyártás befejezése után küldünk neked a fogadási videót, és szintén meg is juthatsz a helyszínre az eszköz ellenőrzéséhez.

5. Telepítés és hibakeresés:
Az eszköz érkezését követően üzemmérnökeket küldhetünk az eszköz telepítéséhez és hibakereséséhez. Ezen szolgáltatásért külön ajánlatot fogunk tenni.

6. A garanciáról:
Az eszközünknek van 12 hónapos garanciái. A garancia lejárata után, ha bármelyik rész meghibásodik és cserére van szükség, csak anyagárakat számítunk fel.

7. Ügyfélszolgálat:
Minden gép esetében a garancia legalább egy éves. Műszaki mérnökeink mindig elérhetők, hogy segítségükre legyenek a berendezések telepítésében, beállításában és karbantartásában. Különleges és nagyméretű berendezésekhez helyszíni telepítési és beállítási szolgáltatást is biztosítunk.

Főoldal

Rólunk

MH Felszerelés

Megoldás

Külföldi Felhasználók

Videó

Kapcsolat

Anyagmaratási Réteglehordási Reakció Iontüzelőgép RIE

RIE Reaktív Ionsugaras Maratógép

A berendezés jellemzői:

További termékek

MD-FS sorozat kondenzátor szövetési gép

MD-FDS sorozat Automatikus kondenzátor szövetési gép

MD-EFS sorozat Kondenzátor Szövetési Gép

MD-EDFS sorozat film Kondenzátor Szövetési Gép

Kérés

Articles

Products

Get In Touch

Anyagmaratási Réteglehordási Reakció Iontüzelőgép RIE

RIE Reaktív Ionsugaras Maratógép

A berendezés jellemzői:

További termékek

Kérés

Articles

Products

Get In Touch

Lépjen kapcsolatba