Córas Léamh Ion Reactógach RIE , China Córas Léamh Ion Reactógach RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Cur síos ar an gcrann

Réactach n-ions (RIE)

Is féidir le hingine eitleán ión rianta (RIE) úsáid a bhaint chun struchtúirí mhicre-nano a chur ar fáil agus is éard é sin ceann de na teicniocltí próiseas fabhrachta semiconductor. Le linn an phróiseas eitleáin RIE, déantar ionadacha gníomhach éagsúla i gclúdach plasmás a chur in iúl leis an fhaosadh an mhaibriál agus déantar torthaí éadrom a chruthú. Glacann na torthaí seo amach ón fhaosadh an maibriál agus cinntítear go deimhin eitleán struchtúr mhicre ar fhaosadh an maibriál. Tá rang phrodúictí ingine eitleán ión rianta (RIE) bunaithe ar theicniúlacht plasmás chomhpleasc faoi chúrsa agus is féidir leo úsáid a bhaint do eitleán patrúnaithe ar mhathairiál silicon mar silicon crithmhar, silicon polycrithmhar, síneadh silicon (SiNy), oxaid silicon (SiO), cuidleog (Quartz) agus carbaid silicon (SiC); is féidir leo úsáid a bhaint do phatrúin agus do eitleán dílíchthe maibriál ar mhatairiál orgánach mar phhotoreisist (PR), PMMAHDMS agus eile; is féidir leo úsáid a bhaint do eitleán físeach ar mhatairiál meitil mar nícail (Ni), croim (Cr) agus matraí cearramach; is féidir leo úsáid a bhaint do eitleán maibriál fosfíd indium (InP) ag teamperatúr thimpiste. Do pháirt den eitleán a bhfuil riachtanais próiseas níos airde air, is féidir againn úsáid a bhaint as ár n-eitleán ICP RIE.

Cumraíocht príomhach:

1. Méid taibhse: 4, 8, 12 inch, comhthionndálach le cúrsaí taibhse beaga éagsúla, tacaíonn sé le riachtanais saincheaptha
2. Grád RF plasmás: roghnach 300/500/1000 W;
3. Pumóg molécúil: roghnach 620/1300 //s, roghnach an téip pumóige díomáite;
4. Pumóg tosaigh: roghnach pumóg uill meicneolaíoch/pumóg dorcha;
5. Brí athrú sprioc: 0 ~1 Torr roghnach; is féidir leat roghnaigh cumraíocht gan sprioc a thabhairt freisin,
6. Gás próiseas: is féidir le go háirithe 9 gás próiseas chun an am céanna; téamh: 10 céad ~ téamh phobail/-30 céad~ téamh phobail/riamhráitear réimse téamh,
7. Is féidir le hinghníomh theilpín iolra a chur i gcás bheith ar fáil i bhfeidhm;
8. Líne anti-pholluithe a bhfuil feabhsú ann;
9. Óglach lódála ógánach ar fáil;
10. Córas rialaithe idirnód bunúsach iomlán uathuigthe;

Materiáilí a bhfuil RIE chur orthu:

1. Materiáilí bunaithe ar siaróg: siaróg (Si), díoxaid siaróige (SiO2), neodraid siaróige (SiNx), carbaid siaróige (SiC)
2. Materiáilí III-V: fósféin inidium (InP), arsenaid galiúim (GaAs), neodraid galiúim (GaN)
3. Materiáilí II-VI: teiléad cáidm (CdTe)
4. Materiáilí magnetacha/comhphríomhmhínithe
5. Daltaí meitil: alúin (AI), fíon (Au), tungsten (W), títan (Ti), taintéal (Ta)
6. Daltaí orgánacha: phriomhfhoirmnóir (PR), polaiméar orgánach (PMMA/HDMS), org

Aplcáidí Cineálta RIE:

1. Scailp siúil ar dhaltaí sílicín, patrúnanna naomh-imprint, patrúnanna earraí agus patrúnanna leice;
2. Scailp siúil faoi théamphéracht comhata i bhfosfíd inidium (InP), scailp siúil patrúnaithe ar shuíomhanna InP sa chumarsáid optics, go léir leis na struchtúir shlighe, na struchtúir chúinne réadaithe, agus na struchtúir creasta;
3. Scailc SiC féiniúil, comhshuitheach do scolb micróg, scolb poist, agus céanna;
4. Scailc phictiúil sraitheálaíochta úsáidear ar chearta méital, mar shampla niocl (Ni), cróm (Cr), ceimicí agus eile nach féidir leo scailc a dhéanamh ríthábhachtúil, agus déantar scailc pleanála na n-earraí trí bhomhadóireacht phictiúil;
5. Scailc earraí orgánacha úsáidear chun scailc, glanadh agus baint earraí orgánacha cosúil le photoresist (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polymer;
6. Scailc de-leibhéal chun anailís theip ar fhillteán (Failure Analysis-FA);
7. Scailc earraí díreach-dimensionacha: W, Mo díreach-dimensionacha, graphene;

Torthaí Iolra:

Cumraíocht tionscnamh agus íomhá struchtúr na mhinicí

Eitem	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Méid an Táirge	≤6 cearr	≤8 cearr	≤8 cearr
Foinse RF	0-300W/500W/1000W Ailíte, comhphoiblíochta uathuimh
Púmp Mhóleacail	-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Sainiú			Antiseptic620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Sainiú
Pumpe Foreline	Pumpe meicneolaíochta\/pumpe tharla			Caidéal Tirim
Brú phróiseas	Brú neamhrialtáilte\/0-1Torr brú rialtaithe
Cineál gáise	H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Sainiú (Go háirithe 9 slíthe, gan gás coirpéis nó tuigseach)			H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Go háirithe 9 slíthe)
Raon gáis	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/saincheaptha
LódáilLock	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Seiceáil teocht samplach	10°C~Teocht seomra/-30°C~100°C/Saincheaptha			-30°C~100°C/Saincheaptha
Fiosrú theithne héilime	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Linseáil spás pocsiúcháin	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Seiceáil teocht fhréamh spáis	Níl/Teocht seomra~60/120°C			Teocht seomra-60/120°C
Córas Rialaithe	Gnáth-riachtanach
Boghdán-mháirial	Bunaithe ar siol: Si\/SiO2\/SiNx··· IV-IV: SiC Mháirial magnetacha/mháirial loinge Méadar meitil: Ni\/Cr\/Al\/Au..... Méadar breise: PR\/PMMA\/HDMS\/Organic film......			Bunaithe ar siol: Si\/SiO2\/SiNx...... III-V( nóta 3): InP\/GaAs\/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (Nóta 3): CdTe...... Mháirial magnetacha/mháirial loinge Matail: Ni/Cr/A1/Au...... Matail éadrom: PR/PMMA/HDMS/fíon scagtha...

Pictiúir fhoirmiúla de Nádúrtha agus Fiontar

Pacáiste & Socruithe

Próifíl an Chompaid

Is déanann Minder-Hightech rialú agus seirbhís i n-equipment fósraíocht leictreonais agus seimiconductors. Ó 2014, tugann an gcóras comhairle ó thaobh cliant chun Tabhairt faoi deara, Dearadh, agus Neadúnach a Thiocfaidh uile i gcás equipment.

CEAF

1. Faoin mBriathar:
Is iad na príseanna againn comhréidíoch agus in ann a chur i gcás. Déanann an priosún a athrú de bharr na cinneadh agus na n-iontrálacha tionscnamhacha do scagaire.

2. Faoin nAmharc:
Is féidir linn seirbhísí tagairt samplach a sholáthar duit, ach is féidir leat cuid de na cosaintí a chur ar fáil.

3. Faoin bhFoireann:
Nuair a gcuiretar an phlean i bhfeidhm, caithfidh tú priomhphhéiriún a íoc dúinn ar dtús, agus tosóidh an bhfabhar le cúram na n-earraí. Nuair a bheidh an t-equipment réadaithe agus íoctar an tsuímh, déanfaidh muid é a sheoladh.

4. Faoin Dileasú:
Nuair a bheidh an tsaothar eitighteachaithe críochnaithe, seolfaimid an físeán glacadh duit, agus is féidir leat teacht go háit an tsaothair chun an t-equipment a sheiceáil.

5. Slatú agus Tomhlú:
Tar éis go mbeidh an t-equipment ar fáil sa bhfabhc seo, is féidir linn iníonaithe a sheoladh chun an t-equipment a shuiteáil agus a dhoilbhithe. Thiocfaimid roinnt eile um an tservis seo chun cotaíocht a thabhairt duit.

6. Faoin Bhunscor:
Tá céimniú 12-mhíithe ar ár n-ábhar. Tar éis na gcéimnitiú, má tá aon phartascthaite agus bíonn orthu a athrú, ní dhéanfaimid ach costas an phríse a thuiscint.

Bailithe

Maidir Linn

MH Equipment

Réiteach

Úsáideoirí ón gCéibh

Videoclip

Deimhnigh Linn

Córas Léamh Ion Reactógach RIE

Réactach n-ions (RIE)

Cumraíocht príomhach:

Materiáilí a bhfuil RIE chur orthu:

Aplcáidí Cineálta RIE:

Tuilleadh Dornálaíochta

Machanáire fheabhsuithe MD-FS Series

Machanáire fheabhsuithe MD-FDS Series uathuimhidiúil

Machanáire fheabhsuithe MD-EFS series

Machanáire fheabhsuithe file MD-EDFS Series

Fiosrúchán

Articles

Products

Get In Touch

Córas Léamh Ion Reactógach RIE

Réactach n-ions (RIE)

Cumraíocht príomhach:

Materiáilí a bhfuil RIE chur orthu:

Aplcáidí Cineálta RIE:

Tuilleadh Dornálaíochta

Fiosrúchán

Articles

Products

Get In Touch

Cuir Isteach