1. Modh oibre: Tosaíonn róbót an naisc naisc leathana ón bhosca naisc A-B (díbheartha) go dtí an mhalairt pré-shuíomh 
banc oibre, agus trí mhéidiceacht an chóras rothaíochta caméara agus an chóras iompar uathuimhidiúil, táthar ar chur i gcás an wafer; ansin lódáiltear na wafers atá curtha i gcás cheana féin ar bhanc comhordaithe ag an robót lódála. Trí shainmhínithe deireanach ag an gclár ordughacha agus an chóras comhordaithe uathuimhidiúil, is féidir leat comhordú uathuimhidiúil na n-imeartha ar an mbhlasca agus ar na wafers a éirí. Is féidir leat freisin ceann amháin a phléascadh gan na n-imeartha a chomhlíonadh. Tar éis a bheith phléascadh go huathuimhidiúil ag an gcóras athrúcháin, cuireann an robót dochartha na wafers isteach go huathoibríoch i d-box wafer (díofarach). 
2. Réigiún phléascadh: 160 × 160mm; 
3. Niomhánacht neamhbhunúsach phléascadh: ≤ 3%; 
4. Focaltracht phléascadh: 0~≥ 40mw/cm2 inbhéartach (gcos cinn 2 °); 
5. Gcos UV: ≤ 3 °; 
6. Wavelength meascán UV: 365nm; 
7. Beocht gceannas UV: ≥ 20000 uair;  
8. Néimead comhshuite: 0~≥ 1000um inbhéartach; 
9. Níos mí fíor comhorduithe: ≤ ± 1.5 μ M; 
10. Cnoga éadromacht: Téama idirthomhas ± 1 μ m. Scagán téama níos gaire de 20 μ M gleic snámha 2 ° ≤ ± 2 μ M 
11. Dlíthe téamaithe: téama crua, téama láidre, agus téama scagtha; 
12. Modh téamaithe: Is féidir leat rogha a dhéanamh idir téama uair amháin nó téama scaipthe 
13. Córas aithris íomhá agus iompar uathoibríoch (lúib luaithe): cnoga uimhir Q ≥ ± 180 °, cnoga níos láidre Q ≤ 0.01 °; 
14. Córas aithris agus comhionannas uathoibríoch (banc comhionannas UVW): ranguingeacht X Y ≥ ± 5mm, cnoga uimhir Q ≥ ± 3 °, agus bíonn dá lorgán speisialta den miscóipe cluichthe ag dá phlata busail XYZ. 
15. Méid másc: 5 " × 5 " agus 7" × 7 "; 
16. Méid fhearthainne: 4 " agus 6"; 
17. Banc eitleán do shaothar film chóra: banc díchillteanna dual;  
18. Cuirm fudóg 
19. Robót arm chluasa ag lódáil agus ag cur ar fud: Z ≥ 350mm, R135mm; 
20. Níos mó ná líon na n-waiféar i bpostach na n-waiféar: cinnte ar bun líon na n-waiféar i gcuairt chustaiméir; 
21. Glacadh tábla suiteadh: Z ≥ ± 25mm; 
22. Amos éadrom: leaghthar idir 0 agus 999.9 soicind; 
23. Rithe pródais:> 120 cluasóg in uaireán óga; 
24. Fúinneoga fuaime: faoi AC220V aonfhaighte 50Hz, cosúilte ≤ 3KW; 
25. Brú aer chríochnaithe: ≥ 0.4MPa; 
26. Leibhéal fhuáin: -0.07MPa~-0.09MPa; 
27. Méid: 1400 * 1000 * 2100mm; 
28. Cúlra: Go háirithe 400kg