MDLB-MC200 Photomask cleaner

Níl.

Tionscadal

Sonraíochtaí

Tuairimí

1

Réamhfhiosrú na n-inbhear

Ainm an Aighne: Glanóir Photomask

Mód eipitseála: MDLB-MC200

Méid iomlán (go léir): 1300mm (L) * 1000mm (F) * 1950mm (H)

Cúlra iomlán (go léir): 300KG

Airde an bharra oibre: 900 ± 50mm

Speisifíicí mhéid na ndróimíní: comhionann le heagrláithreach 2/4/5/6/8 inch

Cosán próiseála: cuireadh dróimín ar bun trí lámh (déanta), glanáil (brúscaireacht, tuisceán glan → uisce airgead-mhór → uisce megsóna → uisce neamhionaidithe → dúradh gás nitróige) → brúchán dróimín trí lámh

Cineál eipiche: leath-ithmhíleach, lódáil agus dalú de chumhbhliain

2

Tógáil na n-eipic

Cosán: acer inox, glan, tuillte gan cruthú, éasca de ghlanadh

Seomra glana: PP, glan, tuillte gan cruthú, éasca de ghlanadh

Píobla: úsáidtear píobla PU/PFA

Léamh ár: solas buí gan cruthú

Stíl oscailte doirse: Doirse dhá-theideal le feidhm ranga oscailte doirse

Scáthphainéal: scáthphainéal dathfhuar 10 colár * 1

FFU: Rang 100

Taca bunús leagtha: ar fáil

3

Mhothair servo de phréime

Cuantas: 1

Téad: -3000~3000 tr/mn

Gan lód

Meán-téad luas spindl: 3000tr/mn/S

Gan lód

Fírinne téad: ± 1tr/mn (50tr/mn~3000tr/mn)

Réad téad: 1tr/mn

4

Braic shuimithe go huathoibríoch

Cuantas: 3

Luas braic: 1~30 °/S

5

Aonad glanadh

Braic glanadh: 1 chlár uisce dí-ionsaithe, 1 chlár gás nítróin

Bracán Megasonic: 1 Megasonic, 1 Uisce Fúiseach Ard

Bracán gruaige: 1 ghruaig, 1 uisce, 1 réad glanála

Modh glanadh: glanadh fhearrmhaireach

Féidir le feabhsú uisce dhíonaithe: ar fáil

Glanadh os cionn (uisce dhíonaithe): 1 bealach

Modh soláthartha: Réad glanála: Pomp diaphram

Uisce dhíonaithe: soláthartha go díreach ag an gcóras

Tinne fúise le déileáil leibhéal níocháin

6

Glanadh ghruaige

Cuantas: 1 (le feabhsú féin-glana)

Téad: go háirithe 1000crch, téad leasaithe

Gairid leasaithe de chéad láimh

7

Bréan níos

Méid: 5

Marúil: PPS+stainlais stál

Méid: Comhshuithe don mbriste cearnógach 2/4/5/6/8 colm

Modh cinntiú foirgne: Modh cinntiú scóta

8

Córas Rialaithe

Córas rialaithe: ag úsáid rialú PLC

Clár: 100 grúpa, gach grúpa a bhaineann 100 cúigist, le huaireán uair idirnódacha is airde 3000.0 soicind

Réasún: 0.1S

Is féidir leis an gcóras a shábháil, a chur ar siúl, a mhodhnú agus a scriosadh

Socraigh ceadacha criptithe: don oibríochtaí eicíp, teicneolaíochtaí, riarthóirí agus gairmteachtaí i ngleicíocht i bhfad uainn

Cineál sínal taca: dearg, buí, glas 3 dath