Téamh Leictreach |
Seomra (Aon gheata) |
||||
N/A |
|||||
Cineál leictreód ísle |
242mm |
||||
Raon teochta próiseas |
-20-100°C |
||||
Foinse plasma |
600W-1000W |
||||
Méid toimhíochta brúidh próiseas |
100mtorr |
||||
Córas fhuascainte |
Aonaid pump móilíneacha, córais pump fhuar, seomra próiseála |
||||
Líon na gcomhtháithí breaosta |
Tomas amháin |
||||
Clamps |
Córas |
Méid/mm |
Materach |
||
N/A |
8、6、4、3、2 |
||||
Bogairteoir pointe deiridh |
ROGHTAIN |
||||
Plasma ceangailte inductively |
ROGHTAIN |
Boghdán-mháirial |
Si、Sio, Sin,Sau,Pt,Al |
Ráta breaosta |
>20nm/min (ábhar Si02) Ní chomh ionann an ráta ar na hairíonna éagsúla |
Rialú páirteach |
>85° |
Modh lódála |
Lódáil oscailte |
Tóraíocht gáis faoi rialú MFC |
Tá sé ghalair gáis ar fáil |
Rogha fuaidiúcháin ar chúl héilim |
Tá |
Comhoibriú Duine-Mheaisín |
Oibríocht scáileáin |
Modh Oibríochta |
Modh go hiomlán uathoibríoch, modh nach go hiomlán uathoibríoch |
Rogha agus cumraíocht gléasraí uathoibríocha |
Is féidir leat roghnú idir páirteanna a iompórtáilte nó páirteanna tíre |
Cóipcheart © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Gach ceart ar cosaint.