Puoliasennettu RTP Nopeat termiset prosessit wafer-semikonduktorille SlC LED MEMS , China Puoliasennettu RTP Nopeat termiset prosessit wafer-semikonduktorille SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Tuotekuvaus

Pikakuuman käsitteily

Tarjoa luotettavaa RTP-laitteistoa yhdistelmäsemikonduktoreille, SlC:lle, LED:lle ja MEMS:lle

Ominaisuus

* Infrapunaisen haleeni-säiliölämmitys, jäähdytys käyttämällä ilmakehän jäähdyttämistä;
* PlD-lämpötilaohjaus haleenin voimalle, mikä voi tarkasti kontrolloida lämpötilan nousua, varmistamalla hyvän toistoehdon ja lämpötilan tasapainon;
* Aineen syöte asetetaan WAFER-pinnalle välttääkseen kylmän pisteen muodostumisen anealoinnin prosessissa ja varmistaakseen hyvän tuotteen lämpötilan tasapainon;
* Molemmat ilmakehän ja tyhjiömenetelmät voidaan valita, ja niissä on esikäsittely ja puhdistus kokonaisuudessaan;
* Kaksi prosessikaasujen joukkoa on standardina ja ne voidaan laajentaa enintään kuuteen prosessikaasujen joukkoon;
* Mittauksessa olevan yksinkertaisen kristallisia silicia-näytteen suurin kokoluokka on 12tuumaa (300x300MM);
* Kolme turvatoimia: turvallinen lämpötila-avaus suoja, lämpötilaohjaimen avaustoimien suoja ja laitteen hätäpysäytys turvallisuussuoja ovat täysin toteutettuja varmistaakseen laitteen turvallisuuden;

Testiraportti

20 asteen käyröiden yhtenevyys

850 ℃ lämpötilan 20 lämpötilakontrollikäyrää

20 keskiarvolämpötilakäyrän yhtenevyys

1250 ℃ lämpötilakontrolli

RTP-lämpötilakontrolli 1000 ℃ -prosessille

960 ℃ -prosessi, jota ohjaa infrapuna-termostaattori

LED-prosessidatan

RTD-keppi on lämpötilaanturi, joka käyttää erityisiä käsittelytekniikoita RTD-lämpötilaanturien upottamiseen tiettyyn sijaintiin keven pinnalla, mikä mahdollistaa keven pinnan lämpötilan reaaliaikaisen mittauksen.

Todelliset lämpötilamittaukset keven tietyillä paikoilla ja keven kokonaislämpöjakauma voidaan saada RTD-kepiden avulla; niitä voidaan myös käyttää jatkuvassa seurannassa välikaupallisten lämpömuutosten keveillä lämpimän käsittelyprosessin aikana.

Määritys

Pakkaus ja toimitus

Yritysprofiili

Meillä on 16 vuotta kokemusta laitteistojen myynnissä. Voimme tarjota sinulle yhdenmukaisen ratkaisun semioperaattorien edustajan ja takapuolen pakkauslinjan laitteille Kiinasta!