Tarkka jyrsintä- ja polttokone semioperaattorimateriaaleja varten , China Tarkka jyrsintä- ja polttokone semioperaattorimateriaaleja varten Manufacturers, Suppliers, Factory

Tuotekuvaus

Laite yleiskatsaus:

MDAM-CMP100/150 -hionta- ja kiillotuskone on tarkkuushionta- ja kiillotuslaitteisto, joka kattaa sovelluksia esimerkiksi puolijohdemateriaaleihin ja optoelektronisiin materiaaleihin. Sitä käytetään pääasiassa tärkeiden puolijohdemateriaalilevyjen, kuten piin, piioksidin ja indiumantimonidin kohdepintalevyjen, hiontaan ja ohentamiseen sekä kemiallis-mekaaniseen kiillotukseen alapinnalle, pinnalle ja päähän. Koko laitteisto ja kaikki sen osat on käsitelty täysin korroosiosuojatuiksi, ja prosessiparametrit voidaan asettaa kosketusnäytöllä varustetun interaktiivisen käyttöliittymän kautta.

Tieteellinen ja järkevä suunnittelu, edistynyt suorituskyky, korkea automaatioaste, käyttäjäystävällinen käyttö, helppokäyttöinen huolto ja vahva luotettavuus. Näytealustan liimaus, hiominen ohentamiseksi, kemiallinen mekaaninen kiillotus sekä ennen ja jälkeen mittauksen tapahtuvien prosessien välinen yhteys on järkevästi suunniteltu varmistaakseen, että laitteiston eri toimintojen käsittelymitat ovat yhtenäisiä. Eri laitteisto- ja kulutusosia käyttämällä voidaan saavuttaa useita erilaisia konekonfiguraatioita ja prosessiratkaisuja, jotta voidaan täyttää käyttäjien erilaiset tekniset vaatimukset, kuten eri materiaalit ja koot.

Kun semikonduktoritekniikka kehittyy nopeasti, integroituja piirejä koskevat suorituskyky- ja toiminnallisuusvaatimet jatkuvat kasvamaan. TSV (Through Silicon Via) - ja TGV (Through Glass Via) -tekniikat, jotka ovat edistyneitä pakkaus- ja yhteydenotto-tekniikoita, voivat tehokkaasti parantaa kuormien integraatiota ja suorituskykyä. Tämä laite tarjoaa ainutlaatuisen prosessisuunnitelman TSV/TGV-tekniikan toteuttamiseksi.

Laitteiden edut:

* Itsenäinen ja liikkuvainen kosketusoperaattorijärjestelmä;
* Toteuttaa kuoren pääpintojen hiiliksenne ja poliisoinnin sekä erityisten kulmien valmistuksen;
* Voit tallentaa 100 prosessivalikorttia;
* Päätepisteen havaitseminen EPD-toiminto;
* Valinnainen päivitys kolmekanavaiseen ruokintajärjestelmään;
* Sopii näytteiden kokoille alle 6 tuumaa.

Laitefunktio:

MDAM-CMP100/150 tarkka maalari- ja polttokone, jossa pääyksikkö ja kaikki varasto-osat on valmistettu erittäin korrosiorkestoisista materiaaleista. Koko kone on korrosiorkestoinen, vakionen, kuljetuskykyinen ja rosteeton, mikä tekee sen sopivaksi erilaisten semikonduktorimateriaalien kemialliseen mekaaniseen maalaamiseen ja polttamiseen. Työtila on eristetty näyttö- ja ohjausalasta, ja se käyttää kosketusnäyttöjärjestelmää digitaalisen ohjauksen toteuttamiseksi. Se on CNC-ohjattu, tallennettavissa ja hakuvoimassa.

Laitejärjestelmällä on ajoitusfunktio, joka voi toimia jatkuvasti 10 tuntia ja hallita polttolevyn nopeutta. Ohjauspaneeli on asetettu työalueen ulkopuolelle estääkseen hiiviratkaisun patsaamisen ohjauspaneeliin. Kaikki isäntälaitteen parametrit voidaan säätää kosketusnäytöllä. Isäntälaitteen prosessiparametrit voivat tallentaa ja hakea tiedot varmistaakseen prosessin yhtenäisyyden ja toistettavuuden. Kiekko-otos adsorboituu vakiintimen alapintaan vakuumipumppujen avulla, varustettuna vetyttömällä vakuumipumppujen ja itsenäisellä antureverseeritysfunktiolla.

Näytteenkanturin konfiguraatiossa on vaakarotaation ajosysteemi, jossa on hiekkausfunktio, jonka hiekkausalue on säätökykyinen 0-100%. Hiekkausamplitudi ja taajuusnopeus voidaan asettaa tarkasti ohjauspaneelista. Näytteenkanturi on varustettu itsenäisellä pyörityksen ajosysteemillä, jonka nopeusrajoitus on säätökykyinen 0-120 vuorovaikutusminuutissa. Tämä toiminnallinen suunnittelu takaa täyden hiekkauspolttamisen näytteelle sulatus- ja polttamisprosessin aikana, mikä parantaa huomattavasti laitteen polttokapasiteettia ja tehokkuutta.

Näytteenkanturi on varustettu digitaaliseksi paksuusseurantataulukoksi, jonka seurantatarkkuus on 1 μm. Näytteenkanturin paine wafer-näytteelle on jatkuvasti säädettävissä, paineviivarojen ollessa 0-3,5kg ja tarkkuudella 2g/cm², ja se on varustettu painemittauslaitteella.

Hiomis- ja kiillotuslevyn toimintaa ohjataan pääajurilla, ja levyn nopeutta voidaan säätää 0–120 kierrosta minuutissa. Tämä nopeusalue takaa tehokkaasti eri kovuus- ja kokoluokkien näytteiden hiomis- ja kiillotusnopeuden, mikä mahdollistaa parempien prosessiparametrien saavuttamisen.

Hiomalevyjen ja hiomakirkastuslevyjen vaihto on yksinkertaista ja nopeaa, ja upotetut levyt mahdollistavat laitteiston nopean siirtymisen hiomisesta kirkastukseen, mikä vähentää prosessiaikaa huomattavasti. Lisäksi hiomalevy on varustettu levykorjauspalkilla, joka varmistaa hiomalevyn hyvän tasaisuuden.

Määritys

Malli	MDAM-CMP100	MDAM-CMP150
Waferekoko	4 tuumaa ja alle	6 tuumaa ja alle
Työpöydän halkaisija	420mm	420mm
Asento	≤4	≤2
Syöttöportti	≤3
Virtalähde	220V, 10A
Aika	0-10h
Ympäristön lämpötila	20℃~35℃
Laudan nopeus	0-120rpm
Kiinteä nopeus	0-120rpm

Näytekiintyjärjestelmän komponentti	Sidontakangas, rullakonkangas
Hienosahkon prosessijärjestelmä	Hienosahkopinta, pintareparointiblokki ja sylinteri
Polttoprosessijärjestelmä	Polttoweden syöttöjärjestelmä ja polttopinta
Tunnistuskomponentti	Testausrakennepohja, tasaisuustestilaitteisto, painetestimittari
Waferin hiivominen ja polttamismateriaalipaketti	Hiivoprosi, polttoratkaisu, polttoteline, vaale, antevaalekevyste, lasikepposarkki

UKK

1. Hintaan liittyen:
Kaikki hinnat ovat kilpailukykyisiä ja neuvottelukelpoisia. Hinta vaihtelee riippuen laitteesi konfiguraatiosta ja mukauttamisen monimutkaisuudesta.

2. Näyteistä:
Voimme tarjota näytevalmistuspalveluita, mutta sinun täytyy maksaa joitakin maksuja.

3. Tietoja Maksusta:
Kun suunnitelma on hyväksytty, sinun täytyy ensin maksaa varausmaksu, ja tehdas aloittaa varastojen valmistelun. Kun
laitteisto on valmis ja olet maksanut jäljellä olevan summan, se lähetetään.

4. Toimituksesta:
Kun laitteen valmistus on valmis, lähettämme sinulle hyväksymisvideon, ja voit myös tulla paikalle tarkistamaan laitetta.

5. Asennus ja Viritys:
Kun laite on saapunut tehtaatasi, voimme lähettää insinöörejä asentamaan ja sopeuttamaan laitetta. Tarjoamme erillisen tarjouksen tästä palvelumaksusta.

6. Tietoja Takuuosta:
Laittemme sisältävät 12 kuukautta kestävän takuua. Takuuajan päätyttyä, jos mikään osa vahingoittuu ja sen on korvattava, laskutamme vain kustannushinnan.