





|
Plasma
|
RF
|
RF
|
||
|
Teho
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
|
BIAS
|
600w(valinnainen)
|
600w(valinnainen)
|
||
|
Soveltamisala
|
4~8寸
|
4~8寸
|
||
|
Yksittäinen käsittelylevyjen määrä
|
1
|
2
|
||
|
Ulkomitat
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
|
Järjestelmän hallinta
|
Teollinen ohjausjärjestelmä
|
Teollinen ohjausjärjestelmä
|
||
|
Automaatiotaso
|
automaattinen
|
automaattinen
|
||









Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään