Tarkkuus-CMP-järjestelmä

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Tarkkuus-CMP-järjestelmä

Laite yleiskatsaus:

Tarkkuus-CMP-järjestelmä käytetään pääasiassa piipiirien, kuten piin, piioksidin ja indium-antimonidin kohdepintalevyjen hiomiseen ja ohentamiseen sekä alapinnan, pintapinnan ja päätyjen kemiallis-mekaaniseen hiomiseen.

Koko laite ja kaikki sen osat ovat täysin korrosiosuojattuja, ja prosessiparametrit asetetaan kosketusnäytön vuorovaikutteisen käyttöliittymän kautta.

Käsittelty näytteen koko:

Näytteen koko ≤ 152 mm / 6 tuumaa

Käsiteltävissä oleva paksuus on 50 μm – 10 mm

Saavutettavat prosessiindikaattorit:

1. φ75 mm -piilevyn kokonaispaksuuspoikkeama (TTV) on alle 2 μm;

2. φ100 mm -piilevyn kokonaispaksuuspoikkeama (TTV) on alle 3 μm;

3. φ150 mm -piilevyn kokonaispaksuuspoikkeama (TTV) on alle 4 μm.

Näytteiden käsittelyyn soveltuvat tyypit:

Piiri, piikarbidi, timantti, keraamiset materiaalit, galliumnitridi, kvartsi, galliumantimonidi, indiumfosfidi, galliumarsenidi, kadmiumsinkkitelluriidi, elohopeakadmiumtelluriidi, litiumniobiaatti ja muut puolijohdemateriaalit.

Laitteen ominaisuudet:

1. Näytteen paksuuden säätöön tarkoitettu päättymispisteen tunnistustoiminto.

2. Hionta- ja hiomislevyn lämpötilan ohjaus ja jäähdytys toiminto reaaliajassa.

3. Monikanavainen ruokintajärjestelmä.

4. Hionta- ja hiomislevyn automaattinen pesutoiminto.

5. Levyn automaattinen korjaustoiminto.

6. Kiinnitin varustettu digitaalisella paksuuden mittauspöydällä, jonka mittauksen tarkkuus on 0,1 μm.

Teknisiä parametreja:

Laiteasetukset:

UKK

1. Hintaan liittyen:

Kaikki hinnat ovat kilpailukykyisiä ja neuvottelukelpoisia. Hinta vaihtelee riippuen laitteesi konfiguraatiosta ja mukauttamisen monimutkaisuudesta.

2. Näyteistä:

Voimme tarjota näytevalmistuspalveluita, mutta sinun täytyy maksaa joitakin maksuja.

3. Tietoja maksusta:

Kun suunnitelma on hyväksytty, sinun täytyy ensin maksaa meidälle varausmaksu, ja tehdas aloittaa varastointivalmistelut. Kun laite on valmis ja olet maksanut jäljellä olevan summan, lähetämme sen.

4. Toimituksesta:

Kun laitteen valmistus on valmis, lähettämme sinulle hyväksymisvideon, ja voit myös tulla paikalle tarkistamaan laitetta.

5. Asennus ja Viritys:

Kun laite on saapunut tehtaatasi, voimme lähettää insinöörejä asentamaan ja sopeuttamaan laitetta. Tarjoamme erillisen tarjouksen tästä palvelumaksusta.

6. Tietoja Takuuosta:

Laittemme sisältävät 12 kuukautta kestävän takuua. Takuuajan päätyttyä, jos mikään osa vahingoittuu ja sen on korvattava, laskutamme vain kustannushinnan.

7. Asiakaspalvelu:

Kaikilla koneilla on yli vuoden takuu. Tekniset insinöörimme ovat aina saatavilla tarjoamaan sinulle laitteen asennus-, säätö- ja huoltopalveluita. Voimme tarjota paikan päällä tapahtuvan asennus- ja säätöpalvelun erikois- ja suurille laitteille.