


|
Waferekoko
|
4”~ 8” keppurikke
|
|
Keppuriketjun paksuus
|
100~750 mikroonia
|
|
Keppurikettujen tyyppi
|
Si, SiC, GaN tai muut materiaalit
|
|
Elokuvan tyyppi
|
Sininen levy, UV-levy
Leveys: 230 ~ 300 mm Pituus: 100 m Paksuus: 0.05 ~ 0.2 mm |
|
Kiekkojen kuljetusrengas
|
6”, 8” DISCO
|
|
Lataus- ja purkumetodi
|
Käsinkirjoitus kiekolle/rengas asettaminen ja poistaminen
|
|
Levyn paikkatarkkuus
|
±0,5mm
Standard 6” ja 8” wafer-levyt 6” ja 8” wafereille |
|
Tyhjiöpumppu
|
Minder-Hightech
|
|
Antistatic-kontrolli
|
Deionointituuleilin
|
|
Ohjausyksikkö
|
Perustuu PLC-kontrolliin, 10” kosketusnäyttöllä
|
|
Turvapuolustus
|
Varustettu valoainestojen suojaamisella ja hätäpysäytysohjella
|
|
Virtalähteen jännitys
|
Yksisuuntainen AC 220V, 16A
|
|
Paineilmaa
|
0.45~0.6MPa, virtausnopeus 70L/min
|
|
Koneen kuori
|
Valkoinen muovipuhaltettu metallikuori
|
|
Tilavuus
|
850mm (leveys)*1750mm (syvyys)*1970mm (korkeus)
|
|
Nettopaino
|
480 kg
|


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään