Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Etusivu
Tietoa meistä
MH-Laitteisto
Ratkaisu
Ulkomaille Käyttäjät
Video
Ota Yhteyttä
Etusivu> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE
  • Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE

Materiaalin syövytys Pinnoitus Reaktio Ionisyövytyskone RIE

Tuotekuvaus

RIE-reaktiivisen ionisyövytyksen laite

RlE-reaktiivisen ionisyövytyksen laitteiden tutkimuskäyttö puolijohteiden valmistuksessa ja mikro-nanojen käsittelyssä heijastuu pääasiassa nanoskaalisten rakenteiden käsittelyyn, uusien materiaalien syövyttämiseen, monimutkaisten laitteiden valmistukseen ja ristiinteknologisten teknologioiden läpimurtoihin. Sen ydinarvo ilmenee korkean tarkkuuden ja korkean selektiivisyyden saavuttamisessa fysikaalisen pommituksen ja kemiallisten reaktioiden koordinoidulla säätötoiminnalla. Tukee puolijohteteknologian ja laiteinnovaatioiden kärkisuunnitteluun liittyvää tutkimusta.

Laitteen ominaisuudet:

1. Korkea tarkkuus ja anisotropia: Se pystyy syövyttämään rakenteita, joilla on jyrkät sivuseinät ja tarkat mitat.
2. Hyvä yhtenäisyys ja toistettavuus: sopii suurten sarjojen valmistukseen.
3. Laaja materiaalisoveltuvuus: Eri kaasuyhdistelmien valinnalla voidaan syövyttää erilaisia materiaaleja (puolijohteet, eristeet, metallit jne.).
4. Korkea selektiivisyysuhde: Se voi syövyttää tarkasti tiettyjä materiaaleja aiheuttamatta merkittävää vahinkoa muille materiaaleille.
5. Puhdistus: Kuiva prosessi, jolla vältetään ongelmia, kuten kosteuden syövytyksestä aiheutuva puhdistus ja jätevesien käsittely.
MITTATIETOE
Järjestelmän konfiguraatio:
Sähkölämmitys
Kammio (yksikammioinen)
Ei saatavilla
Alareunaisen elektrodityyppi
242mm
Prosessilämpötilojen alue
-20-100 °C
PLASMA lähde
600 W - 1000 W
Prosessipaineen mittarin koko
100 mtorr
Tyhjiöjärjestelmä
Molekyylypumppuyksiköt, kuivapumppujärjestelmät, prosessikammio
Etchaukamien määrä
Yksi kaari
Sidontat
TYYPPİ
Koko/mm
Materiaali
Ei saatavilla
8、6、4、3、2
Päätepistetunnistin
VALINTA
Induktiivisesti kytketty plasma
VALINTA
Tekninen parametri:
Etusmateriaali
Si、Sio, Sin,Sau,Pt,Al
Etchauksen nopeus
>20 nm/min (SiO2-materiaali) Eri materiaalien etchauksen nopeudet vaihtelevat
Hajautettu ohjaus
>85°
Latausmenetelmä
Avoin lataus
MFC:n ohjaama kaasuputki
Kuusi kaasutankkia on käytettävissä
Holkkipuolen jäähdytysvaihtoehto heliumilla
Kyllä
Ihmiskone-rajapinta
Kosketusnäyttö käyttöliittymä
Käyttötila
Täysautomaattitila, ei-täysautomaattitila
Automaattisten laitteiden valinta ja konfigurointi
Voit valita joko tuontiosat tai kotimaiset osat
Käyttötapaukset
Pakkaus & Toimitus
Yrityksen profiili
Vuodesta 2014 alkaen Minder-Hightech on ollut myynti- ja huoltoedustaja puolijohde- ja elektroniikkatuotealalla. Olemme sitoutuneet tarjoamaan asiakkaille Superior-, Reliable- ja yhden pisteen ratkaisuja koneistosuhteisiin. Tähän mennessä brändimme tuotteet ovat levinneet maailmanlaajuisesti keskeisiin teollisuusmaihin, auttaen asiakkaita parantamaan tehokkuutta, vähentämään kustannuksia ja parantamaan tuotelaatua.
UKK
1. Hintaan liittyen:
Kaikki hinnat ovat kilpailukykyisiä ja neuvottelukelpoisia. Hinta vaihtelee riippuen laitteesi konfiguraatiosta ja mukauttamisen monimutkaisuudesta.

2. Näyteistä:
Voimme tarjota näytevalmistuspalveluita, mutta sinun täytyy maksaa joitakin maksuja.

3. Maksamisesta:
Kun suunnitelma on hyväksytty, sinun täytyy ensin maksaa meidälle varausmaksu, ja tehdas aloittaa varastointivalmistelut. Kun laite on valmis ja olet maksanut jäljellä olevan summan, lähetämme sen.

4. Toimituksesta:
Kun laitteen valmistus on valmis, lähettämme sinulle hyväksymisvideon, ja voit myös tulla paikalle tarkistamaan laitetta.

5. Asennus ja Viritys:
Kun laite on saapunut tehtaatasi, voimme lähettää insinöörejä asentamaan ja sopeuttamaan laitetta. Tarjoamme erillisen tarjouksen tästä palvelumaksusta.

6. Tietoja Takuuosta:
Laittemme sisältävät 12 kuukautta kestävän takuua. Takuuajan päätyttyä, jos mikään osa vahingoittuu ja sen on korvattava, laskutamme vain kustannushinnan.

7. Asiakaspalvelu:
Kaikilla koneilla on yli vuoden takuu. Tekniset insinöörimme ovat aina saatavilla tarjoamaan sinulle laitteen asennus-, säätö- ja huoltopalveluita. Voimme tarjota paikan päällä tapahtuvan asennus- ja säätöpalvelun erikois- ja suurille laitteille.

Tiedustus

Tiedustus Email Whatsapp YLA
×

Ota yhteyttä