گوانگژو میندر-هایتک کو.,لtd.
EN
گوانگژو میندر-هایتک کو.,لtd.
درخواست نقل قول

گوانگژو میندر-هایتک کو.,لtd.

صفحه اصلی
دربارهٔ ما
تجهیزات MH
راه حل
کاربران خارج از کشور
ویدئو
تماس با ما
خانه> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)
  • دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)

دستگاه اچ‌کردن یونی واکنشی (RIE)

دریافت نقل‌قول رایگان
توضیحات محصول

RIE دستگاه حک با یون واکنش‌پذیر

کاربردهای تحقیقاتی دستگاه‌های حک با یون واکنش‌پذیر RIE در زمینه‌های تولید نیمه‌هادی‌ها و پردازش میکرو-نانو عمدتاً در پردازش ساختارهای نانومتری، حک مواد جدید، ساخت دستگاه‌های پیچیده و دستاوردهای فناوری‌های بین‌رشته‌ای منعکس می‌شود. ارزش اصلی آن در دستیابی به حذف دقیق و با انتخاب‌پذیری بالای مواد از طریق کنترل هماهنگ ضربه‌های فیزیکی و واکنش‌های شیمیایی است. پشتیبانی از کاوش در مرزهای پیشرفته فناوری نیمه‌هادی‌ها و نوآوری دستگاه‌ها.

ویژگی های تجهیزات:

1. دقت و ناهمسانگردی بالا: قادر به حک با دیواره‌های عمودی و ابعاد دقیق است.
2. یکنواختی و تکرارپذیری خوب: مناسب برای تولید انبوه.
3. کاربرد گسترده مواد: با انتخاب ترکیبات مختلف گاز، می‌توان مواد مختلفی (نیمه‌هادی‌ها، دی‌الکتریک‌ها، فلزات و غیره) را اچ کرد.
4. نسبت انتخاب‌پذیری بالا: می‌تواند به‌دقت مواد خاصی را اچ کند بدون اینکه آسیب قابل‌توجهی به سایر مواد وارد کند.
5. تمیزکاری: فرآیند خشک، از مشکلاتی مانند تمیزکاری و پردازش فاضلاب ناشی از اچ‌کاری مرطوب جلوگیری می‌کند.
مشخصات
تنظیمات سیستم:
گرمایش الکتریکی
کامرا (تک‌حفره‌ای)
نامشخص
نوع الکترود پایینی
242mm
محدوده دمایی فرآیند
-20-100°C
منبع PLASMA
600W-1000W
اندازه مانومتر فشار فرآیند
100mtorr
سیستم خلاء
واحدهای پمپ مولکولی، سیستم‌های پمپ خشک، محفظه فرآیند
تعداد محفظه‌های خراش
تک حفره‌ای
بغل ها
نوع
اندازه/میلی متر
متریال
نامشخص
8、6、4、3、2
تشخیص‌گر نقطه پایانی
گزینه
پلاسمای تحریک شده با القاء
گزینه
기술 사양:
ماده‌ی خوردگی
Si، Sio، Sin، Sau، Pt، Al
نرخ خراش
>20 نانومتر/دقیقه (برای ماده Si02) نرخ‌های مواد مختلف با هم متفاوت است
کنترل توزیع شده
>85°
روش بارگذاری
بارگذاری باز
لوله کشی گاز کنترل شده توسط MFC
شش مخزن گاز در دسترس است
گزینه خنک کننده هلیوم در پشت
بله
رابط انسان-ماشین
عملیات لمسی
حالت عملکرد
حالت کاملاً اتوماتیک، حالت غیر کاملاً اتوماتیک
انتخاب و پیکربندی دستگاه‌های اتوماتیک
شما می‌توانید قطعات وارداتی یا داخلی را انتخاب کنید
موارد کاربرد
بسته‌بندی و ارسال
سوالات متداول
1. درباره قیمت:
همه قیمت‌های ما رقابتی و قابل مذاکره است. قیمت بستگی به پیکربندی و پیچیدگی سفارشی‌سازی دستگاه شما دارد.

۲. درباره نمونه:
می‌توانیم خدمات تولید نمونه برای شما ارائه دهیم، اما شما ممکن است هزینه‌ای را پرداخت کنید.

3. درباره پرداخت:
پس از تایید طرح، شما باید ابتدا وجوه پیش‌پرداخت را به ما بپردازید و کارخانه شروع به آماده‌سازی کالا می‌کند. پس از آماده شدن تجهیزات و پرداخت بقیه وجه، ما آن را ارسال خواهیم کرد.

4. درباره ارسال:
پس از تکمیل تولید تجهیزات، ما فیلم پذیرش را به شما ارسال خواهیم کرد و شما هم می‌توانید به مکان حضور پیدا کرده و تجهیزات را بررسی کنید.

5. نصب و تنظیم:
پس از رسیدن تجهیزات به کارخانه شما، می‌توانیم مهندسان را برای نصب و تنظیم تجهیزات اعزام کنیم. ما برای این هزینه خدمات گزارش قیمت جداگانه ارائه خواهیم داد.

6. درباره گارانتی:
تجهیزات ما دوره ضمانت ۱۲ ماهه دارند. پس از پایان دوره ضمانت، اگر هر قطعه‌ای آسیب ببیند و نیاز به جایگزینی داشته باشد، فقط هزینه قیمت قطعه را شارژ خواهیم کرد.

7. خدمات پس از فروش:
تمام دستگاه‌ها دارای دوره گارانتی بیش از یک سال هستند. مهندسان فنی ما همواره آنلاین هستند تا خدمات نصب، راه‌اندازی و نگهداری تجهیزات را در اختیار شما قرار دهند. ما می‌توانیم برای تجهیزات خاص و بزرگ، خدمات نصب و راه‌اندازی در محل را ارائه دهیم.

محصولات بیشتر

درخواست اطلاعات

کپی‌رایت © شرکت گوانگژو مندر-هایتک، محدود. همه حقوق محفوظ است

سیاست حفظ حریم خصوصی

درخواست اطلاعات Email واتساپ بالا
×

با ما در ارتباط باشید