EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
مقدمه: این تجهیزات عمدتاً از یک محفظه خلأ از جنس استیل ضدزنگ، یک هدف پاشش مغناطیسی (مگنترون)، یک دستگاه پوششدهی از طریق تبخیر، یک میز نمونه برای قراردادن نمونهها، یک واحد پمپ خلأ، یک گیج اندازهگیری خلأ، یک سیستم ورود هوای و یک سیستم کنترل تشکیل شده است. واحد اصلی این تجهیزات از طریق یک صفحه لمسی بهکار گرفته میشود و توسط یک دماسنج کنترلکننده نظارت میشود. رابط پارامتری دیجیتال و عملکرد خودکار آن، این تجهیزات را به یک پلتفرم عالی تحقیق و توسعه (R&D) برای کاربران تبدیل میکند. محفظه خلأ دارای طراحی هدف در بخش پایینی است و میز نمونه دارای قابلیتهای گرمکردن و چرخش میباشد که این امر باعث یکنواختتر شدن اثر پوششدهی میگردد. سیستم ایجاد خلأ این تجهیزات از یک گروه پمپ خلأ دو مرحلهای تشکیل شده است. پمپ مرحله اول یک پمپ مکانیکی با سرعت بالا است که بهطور مؤثر زمان لازم برای رسیدن از فشار اتمسفری به خلأ پایین را کاهش میدهد. پمپ اصلی یک پمپ مولکولی توربو است که دارای سرعت پمپاژ بالا و سرعت سریعتری برای ایجاد خلأ میباشد. کل سیستم ایجاد خلأ تمیز و سریع است.
کاربرد: این دستگاه برای ساخت فیلمهای نازک فروالکتریک تکلایه یا چندلایه، فیلمهای رسانا، فیلمهای آلیاژی، فیلمهای نیمههادی، فیلمهای سرامیکی، فیلمهای دیالکتریک، فیلمهای نوری و غیره قابل استفاده است.
