سیستم CMP دقیق

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

سیستم CMP دقیق

بررسی تجهیزات:

سیستم CMP دقیق عمدتاً برای سوهان‌زنی و نازک‌کردن تراشه‌های اصلی نیمه‌هادی مانند سیلیکون، دی‌اکسید سیلیکون و تراشه‌های صفحه کانونی آنتی‌مونید ایندیوم، و همچنین پولیش شیمیایی-مکانیکی سطوح پایین، بالا و لبه‌ها به کار می‌رود.

کل دستگاه و تمام قطعات تجهیزات به‌طور کامل مقاوم در برابر خوردگی هستند و پارامترهای فرآیند از طریق رابط تعاملی صفحه لمسی قابل تنظیم می‌باشند.

اندازه نمونه‌های قابل پردازش:

اندازه نمونه ≤ ۱۵۲ میلی‌متر (۶ اینچ)

ضخامت قابل ماشین‌کاری: ۵۰ میکرومتر تا ۱۰ میلی‌متر

شاخص‌های قابل دستیابی در فرآیند:

۱. انحراف کل ضخامت (TTV) برای وفر φ۷۵ میلی‌متر در محدوده ۲ میکرومتر است؛

۲. انحراف کل ضخامت (TTV) برای وفر φ۱۰۰ میلی‌متر در محدوده ۳ میکرومتر است؛

۳. انحراف کل ضخامت (TTV) برای وفر φ۱۵۰ میلی‌متر در محدوده ۴ میکرومتر است.

انواع نمونه‌هایی که قابل پردازش هستند:

سیلیکون، کاربید سیلیکون، الماس، سرامیک‌ها، نیترید گالیوم، کوارتز، آنتیموانید گالیوم، فسفید ایندیوم، آرسنید گالیوم، تلورید کادمیوم-روی، تلورید جیوه-کادمیوم، نیوبات لیتیوم و سایر مواد نیمه‌هادی.

ویژگی های تجهیزات:

۱. امکان تشخیص نقطه پایان برای کنترل ضخامت نمونه.

۲. کنترل دما و سیستم خنک‌کننده به‌صورت آنلاین و بلادرنگ برای صفحه‌های سوهان‌زنی و پولیش.

۳. سیستم تغذیه چندکاناله.

۴. عملکرد شستشوی خودکار صفحه‌های سوهان‌زنی و پولیش.

۵. عملکرد تعمیر خودکار صفحه.

۶. فیکسچر مجهز به میزهای دیجیتال نظارت بر ضخامت با دقت نظارتی ۰٫۱ میکرومتر.

پارامترهای فنی:

پیکربندی دستگاه:

سوالات متداول

1. درباره قیمت:

همه قیمت‌های ما رقابتی و قابل مذاکره است. قیمت بستگی به پیکربندی و پیچیدگی سفارشی‌سازی دستگاه شما دارد.

۲. درباره نمونه:

می‌توانیم خدمات تولید نمونه برای شما ارائه دهیم، اما شما ممکن است هزینه‌ای را پرداخت کنید.

3. در مورد پرداخت:

پس از تایید طرح، شما باید ابتدا وجوه پیش‌پرداخت را به ما بپردازید و کارخانه شروع به آماده‌سازی کالا می‌کند. پس از آماده شدن تجهیزات و پرداخت بقیه وجه، ما آن را ارسال خواهیم کرد.

4. درباره ارسال:

پس از تکمیل تولید تجهیزات، ما فیلم پذیرش را به شما ارسال خواهیم کرد و شما هم می‌توانید به مکان حضور پیدا کرده و تجهیزات را بررسی کنید.

5. نصب و تنظیم:

پس از رسیدن تجهیزات به کارخانه شما، می‌توانیم مهندسان را برای نصب و تنظیم تجهیزات اعزام کنیم. ما برای این هزینه خدمات گزارش قیمت جداگانه ارائه خواهیم داد.

6. درباره گارانتی:

تجهیزات ما دوره ضمانت ۱۲ ماهه دارند. پس از پایان دوره ضمانت، اگر هر قطعه‌ای آسیب ببیند و نیاز به جایگزینی داشته باشد، فقط هزینه قیمت قطعه را شارژ خواهیم کرد.

7. خدمات پس از فروش:

تمام دستگاه‌ها دارای دوره گارانتی بیش از یک سال هستند. مهندسان فنی ما همواره آنلاین هستند تا خدمات نصب، راه‌اندازی و نگهداری تجهیزات را در اختیار شما قرار دهند. ما می‌توانیم برای تجهیزات خاص و بزرگ، خدمات نصب و راه‌اندازی در محل را ارائه دهیم.