




جنس تراشه |
سیلیسیم و سایر موارد |
اندازه تراشه |
ضخامت 0.3~30 میلیمتر: 0.05 ~1.0 [میلیمتر] |
روشهای تأمین |
تراهای 2 و 4 اینچی (تراهای وافل، ژل-پک، تراهای فلزی و غیره) |
ماده زیربنایی |
استیل ضدزنگ، مس، سیلیسیم، قطعه کار، سرامیک و سایر موارد |
مقدار صفحهها |
صفحه 2 اینچی تا 8 عدد، یا صفحه 4 اینچی تا 2 عدد؛ صفحه میتواند به صورت آزاد برای تراشه یا زیرلایه تنظیم شود. |
اندازه خارجی زیرلایه |
15 تا 50 [میلیمتر] و ویفر 8 [اینچی] |
ضخامت زیربنا |
صفحه پایه مسطح با ضخامت 0.1 تا 3.0 [میلیمتر]; صفحه پایینی توخالی: A: 0.1 تا 2 [میلیمتر] B: ≤5 [میلیمتر]، C: ≤7 [میلیمتر] حداقل فاصله تراشه از دیواره داخلی بدنه D: 21 میلیمتر |
UPH |
تقریباً 12 [ثانیه/چرخه] [شرایط زمان چرخه] |
محور Z |
وضوح |
0.1 [میکرومتر] |
|
محدوده حرکت |
200[mm] |
||
سرعت |
حداکثر 250[mm/sec] |
||
محور θ |
وضوح |
0. 000225[°] |
|
محدوده حرکت |
±5[°] |
||
نگهداری تراشه |
روش مکش خلأ |
||
تغییر دستورالعمل |
روش ATC (دستگاه تعویض ابزار خودکار) حداکثر تعداد جیگها قابل تعویض: 20x20[mm] 6 نوع *در صورت 30x30[mm] 2 نوع (اختیاری) استفاده میشود. |
||
محدوده تنظیم |
محدوده بار کم: 0.049 تا 4.9 [N] (5 تا 500 [g]) محدوده بار زیاد: 4.9 تا 1000 [N] (0.5 تا 102 [kg]) * کنترل باری که هر دو محدوده را پوشش دهد، امکانپذیر نیست. * سونوترود فراصوتی فقط برای ناحیه بار زیاد است. |
دقت فشار |
محدوده بار کم: ±0.0098 [N] (1 [g]) محدوده بار زیاد: ±5 [%] (3σ) * هر دو دقت مربوط به بار واقعی در دمای محیط است. |
روش گرمایش |
روش حرارت پالسی (هیتر سرامیکی) |
دمای تنظیم شده |
دمای محیط ~450 [°C] (گام 1 [°C]) |
سرعت افزایش دما |
حداکثر 80[°C/ثانیه] (بدون جیگ سرامیکی) |
توزیع دما |
+5[°C] (در سطح 30x30[میلیمتر]) |
عملکرد سازگار |
با ابزار حرارتی، عملکرد خنککنندگی کار |
فرکانس نوسان |
40[kHz] |
دامنه لرزش |
تقریباً 0.3 تا 2.6[میکرومتر] |
روش گرمایش |
روش حرارت ثابت (شاخه فراصوتی) |
دمای تنظیم شده |
دمای محیط تا 250[°C] (گام 1[°C]) |
اندازه ابزار |
انواع جایگزینی ابزار M6 (نوع پیچی) *برای اندازه تراشه بیش از 7x7 میلیمتر باید به نوع صلب تغییر داده شود. |
دیگر |
نیاز به جایگزینی با سر حرارت پالسی دارد. |
منطقه نصب |
50×50 [mm] |
روش گرمایش |
دوربین فلزی |
دمای تنظیم شده |
دمای محیط ~450 [°C] (گام 1 [°C]) |
توزیع دما |
+5[°C] |
سرعت افزایش دما |
حداکثر 70[°C/ثانیه] (بدون جیگ سرامیکی) |
عملکرد سازگار |
موجود |
نگهداری کار |
روش مکش خلأ |
تغییر دستورالعمل |
تعویض جیگ |
مرحله XY |
هیتر ثابت |
||
مرحله برای اتصال اصلی |
منطقه نصب |
200×200 [میلیمتر] (48 [اینچ] سطح) |
|
روش گرمایش |
گرمای ثابت |
||
دمای تنظیم شده |
200×200 [میلیمتر]: دمای محیط تا 250[درجه سانتیگراد] (گام 1[درجه سانتیگراد]) |
||
توزیع دما |
±5% (200×200 [میلیمتر]) |
||
نگهداری کار |
روش مکش خلأ |
||
تغییر دستورالعمل |
تعویض جیگ |
||



کپیرایت © شرکت گوانگژو مندر-هایتک، محدود. همه حقوق محفوظ است