گوانگژو میندر-هایتک کو.,لtd.

صفحه اصلی
دربارهٔ ما
تجهیزات MH
راه حل
کاربران خارج از کشور
ویدئو
تماس با ما
خانه> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • دستگاه تراشیدن ICP MDICP-5000F کاملا خودکار
  • دستگاه تراشیدن ICP MDICP-5000F کاملا خودکار
  • دستگاه تراشیدن ICP MDICP-5000F کاملا خودکار
  • دستگاه تراشیدن ICP MDICP-5000F کاملا خودکار

دستگاه تراشیدن ICP MDICP-5000F کاملا خودکار

مدل: MDICP-5000F

دستگاه تراشیدن ICP MDICP-5000F کاملا خودکار
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

خلاصه مدیریتی:

این تجهیزات یک سیستم خالی دو اتاقه است. یک اتاق اتاق نمونه‌برداری تزریقی است و دیگری اتاق تراشیدن است. یک قفل خالی بین اتاق نمونه‌برداری تزریقی و اتاق تراشیدن نصب شده است و نمونه‌برداری تزریقی توسط منیپولیتور حمل می‌شود.
تجهیزات اصلانه شامل سیستم وکوم، سیستم مسیر گاز، سیستم الکتریکی، سیستم کنترل، سیستم سردکردن، مکانیسم تغذیه و گرفتن فیلم، سیستم هشدار و غیره است.

진공 시스템:

این سیستم شامل پمپ مولکولی با سرعت جابجایی 600 لیتر در ثانیه + یک پمپ خشک وارداتی با سرعت جابجایی L/s برای برسی حجره فرز به وکوم بالا است. یک ولواک دینامیک فشار نصب شده است بین پمپ مولکولی و حجره فرز. پمپ خشک وارداتی پمپ پیش‌فرز حجره فرز و پمپ مرحله اول پمپ مولکولی است. از یک پمپ مکانیکی دیگر با سرعت جابجایی L/s برای خلاء حجره نمونه استفاده می‌شود. برای اتصال بین پمپ مکانیکی و حجره خلاء و پمپ مولکولی از فولاد ریزه استایل استفاده می‌شود و یک ولواک هوایی الکترومغناطیسی نصب شده است.

سیستم کنترل فشار ثابت

تجهیزات با سیستم کنترل فشار ثابت پس از دستگاه و در خط لوله استخراج هوا، یک ولواژ قابل تنظیم الکتریکی نصب شده است. از طریق اندازه‌گیری با میکرومد (بخش‌های وارداتی)، ولواژ قابل تنظیم کنترل می‌شود تا حفره وakuم به فشار ثابت برسد و بهبود پایداری فرآیند ایجاد شود.

سیستم کنترل فشار ثابت

تجهیزات با سیستم کنترل فشار ثابت پس از دستگاه و در خط لوله استخراج هوا، یک ولواژ قابل تنظیم الکتریکی نصب شده است. از طریق اندازه‌گیری با میکرومد (بخش‌های وارداتی)، ولواژ قابل تنظیم کنترل می‌شود تا حفره وakuم به فشار ثابت برسد و بهبود پایداری فرآیند ایجاد شود.

سیستم مدار گاز

دو مجموعه تأمین توان RF با جفت‌شدگی خودکار.

سیستم هشدار

نیازمندی‌های ایمنی برای تجهیزات.
مشخصات
نام
Spc
برند
شماره/مجموعه
یادداشت
حفره تراشیدگی، خط لوله استخراج هوا، پنجره مشاهده، رابط ذخیره‌شده، و غیره
استاندارد
JSWN
1
پاداکید
چارچوب، کابینت الکتریکی، علامت‌ها، قطعات استاندارد، و غیره
استاندارد
JSWN
1
سیستم بلند کردن پوشش کمرنگ اتʃینگ
استاندارد
JSWN
1
پاداکید
الکترود اتچینگ و سیستم مخملی
استاندارد
JSWN
1
پاداکید
پمپ مولکولی (سرعت پمپاژ 600 لیتر در ثانیه)
FF620/150
KYKY
1
پاداکید
پمپ خشک ورودی (سرعت پمپاژ 9 لیتر در ثانیه)
XDS-35I
ادواردز
1
پاداکید
پمپ مکانیکی (سرعت پمپاژ 9 لیتر در ثانیه)
TRP-36
BWVAC
1
کلید تنظیم برقی
DCQ-150
JSWN
1
پاداکید
کلید توقف هوایی با جعبه چرخ دنده ای
KF40
JSWN
3
پاداکید
سنجش فیلم
KF16
INFICON
1
پاداکید
کنترلر جریان جرمی
D07
Sevenstar
4
پاداکید
کلید دیافراگم پنوماتیک
1/4" VCR
-
4
پاداکید
لوله فولاد ریز، جفت کننده لوله و غیره
1/4" VCR
-
4
پاداکید
منبع توان RF / مطابقت خودکار
-
چین (اختیاری CROWN1310)
1
منبع توان RF / مطابقت خودکار
-
چین (اختیاری CROWN1310)
1
سنجاق Vacuum مرکب
ZDF
RB
1
سیستم کنترل صنعتی
2U
چین
1
صفحه نمایش لمسی LCD
17 اينچ
چین
1
سیستم کنترل plc
S7-200
زیمنس
1
سیستم کنترل محور برق
استاندارد
JSWN
1
سیستم آب سردکننده و خط لوله
استاندارد
JSWN
1
سیستم آشکارسازی هوا فشرده و خط لوله
استاندارد
JSWN
1
ماشین آب جریان گردشی سردکننده
HX
چین
1
اتاق تزریق اتشار
استاندارد
JSWN
1
قفل خلاء
SMC
SMC
1
سیستم کنترل منیپیولاتور
SMC
SMC
1

پارامتر فنی ایمیل

1. حداقل خلاء: اتاق اتشار 9.0×10-5Pa (رطوبت محیطی≤55%)
اتاق نمونه‌گیری تزریق 6.0×10-1Pa
2. ماده اتشار: ماده Ⅲ، Ⅴ، Si، SiO2 و غیره
3. نرخ فروکش: ~ 1μ/دقیقه
4. یکنواختی فروکش: ≤±5٪(محدوده φ125mm)
6. اندازه الکترود: φ200mm

سوالات متداول

1. درباره قیمت:

همه قیمت‌های ما رقابتی و قابل مذاکره است. قیمت بستگی به پیکربندی و پیچیدگی سفارشی‌سازی دستگاه شما دارد.

 

۲. درباره نمونه:

می‌توانیم خدمات تولید نمونه برای شما ارائه دهیم، اما شما ممکن است هزینه‌ای را پرداخت کنید.

 

3. در مورد پرداخت:

پس از تایید طرح، شما باید ابتدا وجوه پیش‌پرداخت را به ما بپردازید و کارخانه شروع به آماده‌سازی کالا می‌کند. پس از آماده شدن تجهیزات و پرداخت بقیه وجه، ما آن را ارسال خواهیم کرد.

 

4. درباره ارسال:

پس از تکمیل تولید تجهیزات، ما فیلم پذیرش را به شما ارسال خواهیم کرد و شما هم می‌توانید به مکان حضور پیدا کرده و تجهیزات را بررسی کنید.

 

5. نصب و تنظیم:

پس از رسیدن تجهیزات به کارخانه شما، می‌توانیم مهندسان را برای نصب و تنظیم تجهیزات اعزام کنیم. ما برای این هزینه خدمات گزارش قیمت جداگانه ارائه خواهیم داد.

 

6. درباره گارانتی:

تجهیزات ما دوره ضمانت ۱۲ ماهه دارند. پس از پایان دوره ضمانت، اگر هر قطعه‌ای آسیب ببیند و نیاز به جایگزینی داشته باشد، فقط هزینه قیمت قطعه را شارژ خواهیم کرد.

 

7. خدمات پس از فروش:

تمام دستگاه‌ها دارای دوره گارانتی بیش از یک سال هستند. مهندسان فنی ما همواره آنلاین هستند تا خدمات نصب، راه‌اندازی و نگهداری تجهیزات را در اختیار شما قرار دهند. ما می‌توانیم برای تجهیزات خاص و بزرگ، خدمات نصب و راه‌اندازی در محل را ارائه دهیم.

درخواست اطلاعات

درخواست اطلاعات Email واتساپ بالا
×

با ما در ارتباط باشید