مدل: MDST-6100
آشر پلاسمای خشک ICP برای کاربردهایی مانند حذف لایههای اضافی (پیشدرمانی و پاکسازی بقایا)، حذف پلیمرها (PI، BCB، PBO) و حذف فتو رزیست پس از ایمپلنت یونی مناسب است؛ اتاقک این دستگاه قادر به دربرگرفتن نمونههای ۸ اینچی است (با قابلیت سازگاری با نمونههای ۴ اینچی و ۶ اینچی).
پاککنندهٔ فتو رزیست با پلاسمای خشک ICP
آشر پلاسمای خشک ICP برای کاربردهایی مانند حذف لایههای اضافی (پیشدرمانی و پاکسازی بقایا)، حذف پلیمرها (PI، BCB، PBO) و حذف فتو رزیست پس از ایمپلنت یونی مناسب است؛ اتاقک این دستگاه قادر به دربرگرفتن نمونههای ۸ اینچی است (با قابلیت سازگاری با نمونههای ۴ اینچی و ۶ اینچی).
ظاهر این تجهیزات مشمول بهروزرسانیها و تنظیمات مداوم است؛ محصول ارسالشده در عمل، ملاک نهایی محسوب میشود.
مزیت:
درجه بالای یونیزاسیون و تجزیه پلاسما
پس از پردازش پلاسما، قابلیت تکرارپذیری بسیار بالاست
خوردن خشک، بدون منبع آلودگی
کنترل فشار و دما از طریق شیرهای پروانهای
قادر به حفظ پلاسما در فشار بالا
جدا سازی منبع ولتاژ بالا و مولد یون
اتصال مایکروویو و مدار مغناطیسی سازگانپذیر هستند
قابلیت تأمین نیازهای مشتری
دمای پایین در طول فرآیند
سرعت پاسخدهی سریع و زمان پاسخدهی کوتاه
مدل |
MDST6100 |
منبع PLASMA |
فرکانس رادیویی |
توان |
1000 وات |
دامنه کاربرد |
۸ اینچ (سازگان با ۴ یا ۶ اینچ) |
اندازه جعبه |
25 عدد |
ابعاد کلی |
طول×عرض×ارتفاع: ۱۶۹۶×۲۱۷۰×۲۱۴۶ میلیمتر |
کنترل سیستم |
PLC |
سیستم جعبه مواد |
اتوماتیک |
تصاویر واقعی تجهیزات:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
کپیرایت © شرکت گوانگژو مندر-هایتک، محدود. همه حقوق محفوظ است
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
