دستگاه با دقت بالا برای نصب تراشه

توضیحات:

1. ایستگاه LF
2. بارگذاری ماگزین ；
3. تبادل مغازه بدون توقف ；
4. مغازه شامل تعداد: ۳ عدد ；
5. ایستگاه توزیع LF: توزیع‌کننده حلقه‌ای و توزیع‌کننده ضربه‌ای اختیاری ；

ایستگاه برداشتن قالب توسط بازوی نوسانی ۱:

1. استفاده از موتور سروو با قدرت بالا و مشعل ۲۰۰۰ وات در حالت چرخشی، نوسان ۱۸۰ درجه‌ای، قابلیت تنظیم فشار مکنده
2. دقت قرارگیری قالب: < ±۲۵ میکرومتر> ；
3. دقت زاویه‌ی قرارگیری قالب: < ±۳ درجه> ；
4. بررسی عدم وجود قالب.

ایستگاه وافر ۱:

قابلیت پذیرش ایستگاه ویفر ۱۲ اینچی و همچنین ویفر ۸ اینچی ；

عملکرد خودگشایشی وافر ；

بررسی و تعیین موقعیت وافر توسط سیستم CCD ；

تنظیم خودکار زاویه‌ی وافر. 。

ایستگاه اصلاح:

1. استفاده از موتور خطی و خط‌کش دقیق با دقت بالا برای تضمین صحت اندازه‌گیری.
2. چرخش با کنترل موتور پنج فاز

ایستگاه دوم جابه‌جایی دای (Die) به روش خطی:

1. روش خطی برای جابه‌جایی و قراردهی دای (Die)، با قابلیت تنظیم فشار؛
2. دقت قرارگیری قالب: < ±۱۵ میکرومتر~ ±۲۵ میکرومتر>;
3. دقت زاویه قالب: < ±۱ درجه >;
4. بررسی عدم وجود قالب.

رسید:

1. دریافت مخزن قابل انباشته‌شدن ；
2. توقف‌نکردن در حین دریافت.

عملکرد پایه ：

1. سیستم: ویندوز ۷
2. رابط ：چینی و انگلیسی
3. زمان چرخه ：۷۲۰ میلی‌ثانیه (حداکثر) در ساعت ≥پنج کیلو
4. دقت موقعیت کلی ：±۱۵ میکرومتر~ ±25um
5. موقعیت زاویه‌ای کلی ：±1°
6. اندازه دیسک ：1mm*1mm ～۱۰ میلی‌متر × ۱۰ میلی‌متر
7. اندازه LF ：طول ≤عرض ۲۶۰ میلی‌متر ≤۸۰ میلی‌متر‌²
8. توان ：220V ±10v ，۵۰ هرتز، ۷۰۰ وات
9. هوا （فشار ）：5～۶ کیلوگرم‌نیرو بر سانتی‌متر مربع

عملکرد:

1. عملکرد بررسی فقدان دای
2. برنامه‌ای بدون محدودیت برای ذخیره‌سازی تعداد
3. سیستم برق اضطراری خارجی (UPS)
4. پمپ خلأ داخلی
5. دارای قابلیت نقشه‌برداری (Mapping)
6. بررسی کیفیت اتصال دای
7. عملکرد بررسی معکوس
8. ابعاد طول × عرض × ارتفاع: ۲۲۰۰ میلی‌متر × ۱۴۰۰ میلی‌متر × ۱۶۰۰ میلی‌متر （）
9. وزن: ۱۵۰۰ کیلوگرم

ایستگاه جمع‌آوری ویفر ：

1. ابزار جمع‌آوری ：جمع‌آوری از سطح
2. بازوی چرخشی ：180°چرخشی
3. فشار جمع‌آوری ：20G ～۲۰۰G

ایستگاه چسباندن ویفر ：

1. سر ：چرخان ，ماشین نصب سطحی
2. طرف اتصال ویفر ：حرکت خطی
3. فشار اتصال قالب ：20G ～۲۰۰G
4. ایستگاه ویفر ：حداکثر حرکت: ۱۲ اینچ × ۱۲ اینچ (۳۲۵ میلی‌متر × ۳۲۵ میلی‌متر)
5. دقت تکرار ：±۲ میکرومتر
6. حرکت پوشش‌دهنده: ۳ میلی‌متر (حداکثر)

سیستم اتصال خطی قالب ：دقت تکرار ：±۲ میکرومتر

سیستم توزیع مواد:

1. سیستم توزیع دوگانه
2. سیستم آپلود و دانلود
3. مجله
4. بیشترین اندازه قاب رهبر ：۸۰ میلیمتر ×۲۶۰ میلی‌متر