پاک‌کنندهٔ فتو رزیست وفر به‌صورت دسته‌ای و لوله‌ای

تجهیزات حذف فوتو رزیست با استفاده از مایکروویو برای دسته‌بندی وفرها

ظاهر این تجهیزات مشمول به‌روزرسانی‌ها و تنظیمات مداوم است؛ محصول ارسال‌شده در عمل، ملاک نهایی محسوب می‌شود.

سیستم MDST-3300 یک سیستم آشینگ مایکروویوی مبتنی بر کاستت وفر است که برای پردازش دسته‌ای طراحی شده و کاربردهایی از جمله حذف فوتو رزیست، حذف لایه‌های اضافی (دسکام)، تمیزکردن وفرها، حذف بقایای پس از فرآیندهای مرطوب، تمیزکردن بقایای سطحی وفرها و حذف بقایای پس از فرآیند توسعه را پوشش می‌دهد. الکترون‌های آزاد درون محفظه، پلاسما تولید می‌کنند که بر روی فوتو رزیست روی سطوح وفرهای قرارگرفته در کاستت کوارتز درون محفظه اثر می‌گذارد. پلاسمایی با چگالی بالا و پیوسته با اعمال انرژی مایکروویوی ۱۳٫۵۶ مگاهرتز به دیواره‌های محفظه خلأ تولید می‌شود. این محفظه قادر به جای‌گیری کاستت‌های کوارتز برای وفرهای ۴ تا ۸ اینچی است.

سیستم MDST-2300 تمیزکردن سریع و بدون آسیب با استفاده از پلاسما را فراهم می‌کند. این اثر تمیزکنندگی از طریق واکنش‌های شیمیایی بین رادیکال‌های فعال‌شده و فوتو رزیست روی سطح وفر حاصل می‌شود.

اصل عمل:

میدان الکتریکی‌ای به گاز فرآیند اعمال می‌شود تا آن را به پلاسما یونیزه کند. اجزای «فعال» پلاسما شامل یون‌ها، الکترون‌ها، اتم‌ها، رادیکال‌های آزاد، گونه‌های در حالت برانگیخته (حالت‌های متاستیبل) و فوتون‌ها هستند. در درمان با پلاسما از ویژگی‌های این اجزای فعال برای القای واکنش‌های فیزیکی و شیمیایی—مانند اکسیداسیون، کاهش، شکستن پیوندها، اتصال متقاطع و پلیمریزاسیون—استفاده می‌شود؛ بنابراین ویژگی‌های سطحی نمونه تغییر می‌کند. این فرآیند عملکرد سطحی را بهینه می‌کند و اهدافی مانند پاک‌سازی، اصلاح سطحی و حذف باقی‌مانده‌ها را محقق می‌سازد.

مزایا:

۱. فیکسچرهای انعطاف‌پذیر نگهدارنده محصول، وفرهای با اشکال نامنظم را در بر می‌گیرند؛

۲. پلاسما با دمای پایین از آسیب حرارتی وفرها جلوگیری می‌کند؛

۳. پلاسمای الکتریکی خنثی از آسیب الکتریکی به وفرها جلوگیری می‌کند؛

۴. خروجی پلاسما با بازده بالا و یکنواخت، حذف مؤثر فتو رزیست را تضمین می‌کند؛

۵. درجه بالای یونیزاسیون و تجزیه پلاسما؛

۶. فرآیند اچینگ خشک منابع آلودگی را از بین می‌برد؛

۷. فشار و دما از طریق شیر پروانه‌ای کنترل می‌شوند؛

۸. توانایی حفظ پلاسما در فشارهای بالای گاز؛

۹. منبع تغذیه با ولتاژ بالا از مولد یون جدا شده است؛

۱۰. سازگان با پیکربندی‌های اتصال مایکروویو و مدار مغناطیسی.

ساختار محصول:

سیستم درمان سطح پلاسما عمدتاً از سه بخش تشکیل شده‌است: محفظه خلأ و سیستم خلأ، تولیدکننده فرکانس رادیویی و سیستم کنترل.

الف) محفظه خلأ و سیستم تولید خلأ:

محفظه خلأ در داخل قاب کابینت ثابت شده و درهای جداشدنی در هر دو طرف آن وجود دارد که نگهداری از محفظه خلأ و سیستم خلأ درونی را بسیار آسان می‌کند. سیستم تولید خلأ عمدتاً از لوله‌های زِبرین، اتصالات کُف (KF) و پمپ‌های خلأ تشکیل شده‌است که مؤلفه اصلی آن پمپ خلأ (گروه پمپ‌های خلأ) است.

ب) تولیدکننده فرکانس رادیویی (RF):

تولیدکننده فرکانس رادیویی دارای منبع تغذیه ۱۰۰۰ وات است که فرکانس رادیویی را تولید می‌کند و انرژی مایکروویو از طریق دستگاه تطبیق‌دهنده به محفظه کوارتز پلاسما منتقل می‌شود تا پلاسما ایجاد شود.

ج) سیستم کنترل:

این سیستم از صفحه‌نمایش‌های صنعتی، سیستم‌های کنترل صنعتی مبتنی بر رایانه و طراحی رابط کاربری به زبان چینی استفاده می‌کند. کنترل فرآیند تجهیزات: روشن‌شدن پمپ خلأ → باز شدن شیر سد → دستیابی به درجهٔ تعیین‌شدهٔ خلأ → ورود گاز فرآیند → تولید امواج رادیویی توسط منبع RF → انتقال انرژی RF به محفظه → تشکیل پلاسما در محفظه → زمان کار تا از بین رفتن خلأ → پایان کار. این تجهیزات در دو حالت خودکار و دستی قابل استفاده هستند.

مشخصات محصول: