ایجاد میکروالکترونیک شامل بسیاری از مراحلی است که باید با احتیاط انجام شود. چسبندگی وفر یکی از این مراحل بحرانی است. در واقع، چسبندگی وفر، قرار دادن دو ماده نازک یا وفرها (بر اساس تعریف صنعتی) با یکدیگر است. مهم است که هر جا دو نقطه به هم میخورند، خاصیت چسبندگی بسیار قوی با یکدیگر داشته باشند تا این فرآیند به طور موثری کار کند. اینجا است که فعالسازی سطح نقش خود را در کمک به چسبندگی ایفا میکند.
فعالسازی سطحی گاله، روش خاصی است که برای کمک به افزایش چسبندگی یا چسبندهبودن در گاله مورد استفاده قرار میگیرد. درمان پلاسما، درمان UV/اوزون یا تابعیسازی شیمیایی از جمله روشهایی هستند که میتوانند برای فعالسازی سطح استفاده شوند. این تکنیکها از هم متفاوت هستند و برای آمادهسازی سطح گاله برای چسبندگی استفاده میشوند.
این همچنین بهبود کیفیت یک دستگاه میکروالکترونیک را تقویت میکند. آنها کمک میکنند تا وفرها به خوبی با هم جمع شوند تا احتمال رخ دادن مشکلاتی مثل جدایی لایهها کاهش یابد. بنابراین، عملکرد آن بهتر خواهد بود و طولانیتر پابرجا خواهد ماند، که نشاندهنده استحکام بیشتر در هر دستگاه جدیدی است که در آن قرار دارد.
به غیر از تقویت جوش و کیفیت دستگاه، فعالساز سطحی کمک میکند تا سطح وفر را با تمیزی پوشاند. اینطور که یک فرآیند فعالسازی روی سطح انجام میشود، هر نوع آلودگی یا ماده مضری که قابل قبول نیست میتواند حذف شود. این موضوع باید منجر به یک سطح بهتر و صافتر شود که میتوانند بر آن میکروالکترونیک چاپ کنند.
در نهایت، فعالسازی سطح میتواند به ایجاد یک سطح滑溜 در وفر بپردازد. اگر از چسب برای چسباندن دو سطح به هم استفاده کنیم، اگر سطح خیلی خشن یا تپهدار باشد، ممکن است برای آنها مشکل باشد که به درستی به هم متصل شوند. یک فرآیند صافکاری یا فعالسازی میتواند انجام شود تا خشونت روی سطح وفر را کاهش دهد که این موضوع قدرت چسبندگی و اتصال را بهبود میبخشد.
هنگامی که به علم تکنیکهای فعالسازی سطح وفر میپردازیم، چندین مفهومی باید در نظر گرفته شود. و یکی از این مفاهیم انرژی سطحی است. برای ارجاع، انرژی سطحی: مقدار انرژی که برای تولید یک سطح جدید مصرف میشود. وقتی دو سطح با هم تماس میگیرند، آنها بر اساس انرژی سطحی خود به هم چسبیده و اتصال پیدا میکنند.
این تکنیکهای فعالسازی سطح به طور اساسی انرژیای به وفر رسانده میشود، با افزایش انرژی سطحی آن. این کار باعث میشود که وفر قادر به چسبیدن محکم به یک سطح دیگر شود. روشهایی مانند درمان پلاسما، درمان UV/اوزون و عملکرددهی شیمیایی همه به درجهای متفاوت سایتهای فعال تولید میکنند که انرژی سطحی وفر را افزایش میدهد که برای چسبندگی موفق حیاتی است.
کپیرایت © شرکت گوانگژو مندر-هایتک، محدود. همه حقوق محفوظ است