دستگاه پاک‌سازی پلاسما خلأ ۱۵ لیتری

این دستگاه از منبع تغذیه یونی، سیستم خلأ، سیستم پرکردن گاز، سیستم کنترل خودکار و سایر اجزا تشکیل شده است. اصل کار آن این است که در شرایط خلأ، پلاسما می‌تواند گاز را به‌صورت کنترل‌شده و با کیفیت مورد نظر یونیزه کند. از پمپ خلأ برای تخلیه اتاق فرآیند تا رسیدن به خلأیی بین ۱۰ تا ۴۰ پاسکال استفاده می‌شود و سپس گاز تحت تأثیر ژنراتور فرکانس بالا یونیزه می‌شود؛ در نتیجه پلاسما (چهارمین حالت ماده) ایجاد می‌گردد. ویژگی برجسته آن یکنواختی بالای تخلیه نوری (Glow Discharge) است که بسته به نوع گاز مورد استفاده، نور مرئی رنگی از آبی تا بنفش تیره ساطع می‌کند و دمای پردازش مواد تقریباً برابر با دمای محیط است. این ذرات بسیار فعال با سطح مورد پردازش واکنش داده و انواع اصلاحات سطحی از جمله افزایش آبدوستی سطح، آب‌گریزی، کاهش اصطکاک، پاک‌سازی عمیق، فعال‌سازی و اچینگ را ایجاد می‌کنند.
مزایای درمان پلاسما: ۱. فناوری حفاظت از محیط زیست: فرآیند واکنش پلاسما یک واکنش هماهنگ بین فاز گازی و جامد است که منابع آب را مصرف نمی‌کند، نیازی به افزودن مواد شیمیایی ندارد و محیط زیست را آلوده نمی‌کند. ۲. انعطاف‌پذیری: صرف‌نظر از نوع زیرلایه‌ای که باید پردازش شود، همه‌ی آن‌ها قابل پردازش هستند؛ مانند فلزات، نیمه‌هادی‌ها، اکسیدها و اکثر مواد پلیمری که به‌خوبی قابل پردازش هستند. ۳. دمای پایین: نزدیک به دمای اتاق، به‌ویژه برای مواد پلیمری مناسب است و زمان نگهداری طولانی‌تر و تنش سطحی بالاتری نسبت به روش‌های کورونا و شعله ایجاد می‌کند. ۴. عملکرد قوی: تنها شامل لایه‌ی سطحی نازک از ماده‌ی پلیمری (۱۰ تا ۱۰۰۰ آنگستروم) می‌شود و می‌تواند یک یا چند عملکرد جدید را بدون تغییر ویژگی‌های ذاتی ماده فراهم کند. ۵. هزینه‌ی پایین: دستگاه ساده است، راه‌اندازی و نگهداری آن آسان بوده و می‌توان آن را به‌صورت پیوسته به‌کار برد. اغلب چند بطری گاز می‌توانند جایگزین هزاران کیلوگرم مایع تمیزکننده شوند؛ بنابراین هزینه‌ی تمیزکاری بسیار پایین‌تر از روش‌های مرطوب خواهد بود. ۶. کنترل‌پذیری فرآیند در تمام مراحل