


Waferi suurus |
4”~ 8” plaadilaua |
Plaadilaua paksus |
100~750 miikroneid |
Plaadilaua tüüp |
Si, SiC, GaN või muud materjalid |
Filmi tüüp |
Sinine film, UV-film Laius: 230 ~ 300 mm Pikkus: 100 m Paksus: 0.05 ~ 0.2 mm |
Külgketta ring |
6”, 8” DISCO |
Laadimise ja unladeerimise meetod |
Käsitsi külgketta ja ringi paigutamine ja eemaldamine |
Filmi paigutus täpsus |
±0.5mm Tavalised 6” ja 8” kambad 6” ja 8” kambade jaoks |
Vaakumpump |
Minder-Hightech |
Elektrostatilise kontrolli funktsioon |
Dejonisatsioonituuleja |
Juhtimisüksus |
PLC-kontrolliga, koos 10” puuvälimisnäitaajaga |
Turvatõrje |
Valgestikukaitse ja hädapeatusnupuga varustatud |
Toiteallika pinge |
Ühefäässeline AC 220V, 16A |
Süüteained |
0,45~0,6MPa, vooluhulk 70L/min |
Seadme korpuse |
Valge plastmalingutega metallkorpuse |
Maht |
850mm (laius)*1750mm (sügavus)*1970mm (kõrgus) |
NETO Kaal |
480kg |


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud