Rõhutada
Sissejuhatus: Magnetronne sputterdamise kateaparaat on meie ettevõtte poolt iseseisvalt arendatud, kuluefektiivne magnetronne sputterdamise kateaparaat, mille tunnuseks on standardiseeritus, moodulatsioon ja kohandatavus. Magnetronsihtud on saadaval läbimõõduga 1 toll, 2 tolli ja 3 tolli ning kliendid saavad valida sobiva suuruse vastavalt kattetava alusmaterjali mõõtmetele; toiteplokk on 500 W võimsusega püsivoolutoiteplokk, mida saab kasutada kõrgenergia metallide sputterdamiseks. Eksperimentaalsete nõuete kohaselt saab valida ka teisi püsivoolu- või RF-toiteplokke, et realiseerida erinevate materjalide kattumist.
Rakendus: sobib ühe- või mitmekihiliste ferroelektriliste õhukeste kihide, juhtivate kihide, sulamikihede, pooljuhtkihede, keramiikakihtede, dielektrumkihede, optiliste kihide jne valmistamiseks.