Sissejuhatus:
Magnetronpühkimisega kateaparaat on meie ettevõtte arendatud erilise laborikateaparaat. Seadmel on võimalik kasutada alalisvoolu- ja raadiosagedusvoolu toiteallikat. Võimsus jääb vahemikku 500 W kuni 1000 W. Tavapärase plasma pühkimisega võrreldes pakub magnetronpühkimine eeliseid kõrgema energiakoguse, suurema kiiruse, kõrgema sadestumiskiiruse ja väiksema proovitemperatuuri tõusuga seoses. Magnetronsiht on varustatud veeküllatud vahekihiga. Veeküttimine võimaldab efektiivselt soojuse eemaldamist ning vältida soojuse kogunemist sihtpinnal, mistõttu saab magnetronkatet pika aega stabiilselt kasutada. Tihedalt läbi mõeldud konstruktsiooni tulemusena on saavutatud tasakaal ka seadme ruumala ja tööomaduste vahel, välimus on ilus ja funktsionaalsus täielik. Täispikkuse juhtimine toimub puuteekraanil ja sisseehitatud ühe nupuga katmise programmiga, mis tagab lihtsa kasutamise ning teeb selle ideaalseks seadmeks õhukate kiltide valmistamiseks laboris.
Rakendus:
Seda saab kasutada ühe- või mitmekihiliste ferroelektriliste õhukeste kiltide, juhtivate kiltide, sulamkiltide, pooljuhtkiltide, keramiikakiltide, dielektriliste kiltide, optiliste kiltide jne valmistamiseks.