EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Sissejuhatus: Kahe sihtmärgiga magnetronpühkimisega kateaparaat on meie ettevõtte arendatud laboris kasutatav kateaparaat kahe sihtmärgiga. Seadmes on paigaldatud alalisvoolu- ja raadiosagedusvooluallikas. Võrreldes tavalise plasma pühkimisega pakub magnetronpühkimine eeliseid, nagu kõrgem energia ja kiirus, kõrgem kattetegur ning see on tüüpiline kiire madalatemperatuuriline pühkimine. Magnetronsihtmutri juures on paigaldatud veekülmega varustatud vahekiht. Veekülgur võimaldab efektiivselt soojuse eemaldamist ja vältida soojuse kogunemist sihtmutri pinnale, mis tagab magnetronkatte pikaajalise stabiilse töö. Selle mudeli prooviplatvorm on konstrueeritud edasi-tagasi liikumiseks ning vasakul küljel on magnetkupluga ühendatud tõukerihm, mis võimaldab prooviplatvormi vasakule ja paremale tõugata. Täiskomplekti juhib puuteekraan, millel on sisseehitatud ühe nupuga kattetöö programm, mis on lihtne ja mugav kasutada ning seadme sobib ideaalselt õhukeste kiltide laboratoorseks valmistamiseks.
Rakendus: sobib ühe- või mitmekihiliste ferroelektriliste õhukeste kihide, juhtivate kihide, sulamikihede, pooljuhtkihede, keramiikakihtede, dielektrumkihede, optiliste kihide jne valmistamiseks.
