Sissejuhatus:
Kahe sihtmärgiga magnetronpühkimisega kateaparaat on meie ettevõtte arendatud laborispetsiifiline kateaparaat kahe sihtmärgikohaga. Seadmes on paigaldatud alalisvoolu- ja raadiosagedusvooluallikas. Võrreldes tavalise plasma pühkimisega pakub magnetronpühkimine eeliseid kõrgema energiakoguse ja kiiruse, kõrgema kattetiheduse ning on tüüpiline kiire madalatemperatuuriline pühkimine. Magnetronsiht on varustatud veeküllatud vahekihiga. Veeküllatus süstab efektiivselt ära soojust ja vältib sihtpinnale kogunenud soojuse akumuleerumist, mis võimaldab magnetronkatte aparaadil töötada stabiilselt pikka aega. Selle mudeli prooviplats on konstrueeritud tagasitõmbuvaks, vasakul küljel on magnetkupluse tõukevarras, mis võimaldab prooviplatsi liigutada vasakule ja paremale. Täiskomplekti juhib puuteekraan, millel on sisseehitatud ühe nupuga kattetöötlusprogramm, mis on lihtne ja mugav kasutada ning teeb seadme ideaalseks laboris õhukese kile valmistamiseks.
Rakendus:
Seda saab kasutada ühe- või mitmekihiliste ferroelektriliste õhukeste kiltide, juhtivate kiltide, sulamkiltide, pooljuhtkiltide, keramiikakiltide, dielektriliste kiltide, optiliste kiltide jne valmistamiseks.