MDAM-CMP100/150 spetsiaalne lihvitamise ja poliirimasin, peamune üksus ja kõik varuosa on valmistatud kõrgelt korroosioonivastustest materjalidest. Terve masin on korroosioonivastane, stabiilne, kulgevastane ja rooste vastane, sobib erinevate semikonduktorimaterjalide keemilise mehaanilise lihvitamiseks ja poliirimiseks. Tööruum on eraldatud näitamise ja juhtimise ala ning kasutab digitaalset juhtimissüsteemi puuväelise juhtimisega. See on CNC-juhitav, salvestatav ja taastatav.
Seadme süsteemil on ajastusfunktsioon, mis võib töötada pidevalt 10 tundi ja juhtida liiviketta kiirust. Juhtpaneel asetatakse tööala väljaspool, et vältida rippude lahendite sirgumist juhtpaneelile. Kõik seadmest pärit parameetrid saab kohandada puudutusnäitlejalt. Seadmest protsessiparameetritele on omistatud salvestus- ja taastamisfunktsioonid, et tagada protsessi ühtsus ja korduvus. Plaadimuster adsorbeeritakse fikspindade alumisele poolele vakuumpummi abil, millel on olemas ölieta vakuumpump ning sellel on iseseisev vastupuukaitsefunktsioon.
Kinnipidaja konfiguratsiooni näidis horisontaalne pöörlemine juhtimissüsteemil on lindikufunktsioon, mille lindikuvahemik on 0-100% kohandatav. Lindiku amplituud ja sagedus kiirus võivad olla täpselt seadistatavad juhtpaneelil. Kinnipidaja on varustatud iseseiseva pöörlemiseks juhtimissüsteemiga, mille kiiruse kohandusvahemik on 0-120tpm. See funktsionaalne disain tagab näidise täieliku lindikupuhastamise lihvimise ja puhasmise protsessi jooksul, mis suurendab oluliselt seadme puhasmise suutlikkust ja tõhusust.
Kinnipidaja on varustatud digitaalsega paksuse jälgimistabeliga, mille jälgimistäpsus on 1 μm. Kinnipidaja raudadele avaldatav survetus on pidevalt kohandatav, surve vahemik on 0-3,5kg ja täpsus 2g/cm² ning see on varustatud surve mõõdumise seadmega.
Pindade õhutamise ja poliirumise ketas töötab peamise juhtimissüsteemi kontrolli all ja ketas kiirus on reguleeritav 0–120 pöörde minutis. See kiiruse muutumisvahemik tagab tõhusalt erineva kõvaduse ja suurusega materjalide proovide õhutamise ja poliirumise kiiruse ning võimaldab saavutada kõrgemaid protsessinäitajaid.
Poliirplaatide ja puhastusplaatide vahetamine on lihtne ja kiire, sest sisestatud plaadid võimaldavad seadmel kiiresti üle minna puhastusprotsessilt poliirprotsessile, mis vähendab protsessiaega oluliselt. Lisaks on puhastusplaat varustatud plaatide parandusblokiga, et tagada puhastusplaatide hea tasasus.