Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Avaleht
Meist
MH Seadistus
Lahendus
Välismaalased Kasutajad
Video
Kontakt Meega
Kodu> Labori semikonduktori seadmed
  • Täpsuslihmistamise ja poliireerimise masin halbikriitsete materjalide jaoks
  • Täpsuslihmistamise ja poliireerimise masin halbikriitsete materjalide jaoks
  • Täpsuslihmistamise ja poliireerimise masin halbikriitsete materjalide jaoks
  • Täpsuslihmistamise ja poliireerimise masin halbikriitsete materjalide jaoks
  • Täpsuslihmistamise ja poliireerimise masin halbikriitsete materjalide jaoks
  • Täpsuslihmistamise ja poliireerimise masin halbikriitsete materjalide jaoks
  • Täpsuslihmistamise ja poliireerimise masin halbikriitsete materjalide jaoks
  • Täpsuslihmistamise ja poliireerimise masin halbikriitsete materjalide jaoks
  • Täpsuslihmistamise ja poliireerimise masin halbikriitsete materjalide jaoks
  • Täpsuslihmistamise ja poliireerimise masin halbikriitsete materjalide jaoks

Täpsuslihmistamise ja poliireerimise masin halbikriitsete materjalide jaoks

Toote kirjeldus

Seadmete ülevaade:

MDAM-CMP100/150 põhjustus- ja poliirimasin on täpsuspõhjustus- ja poliirimisseade, mis hõlmab rakendusi nagu pooljuhtmaterjalid ja optoelektronilised materjalid. Seda kasutatakse peamiselt silikoonist, ränidioksiidist ja indiumantimoonidist fookuspinna mikroplaatide põhjustamiseks ja õhendamiseks ning keemiliselt-mehaaniliseks poliirumiseks allosas, pinnal ja otsapindadel. Kogu seade ja kõik selle komponendid on täielikult korrosioonikaitstud ning protsessiparameetrid saab seadistada puuteekraanil põhineva interaktiivse liidese kaudu.
Teaduslik ja mõistlik disain, täiustatud toimetus, kõrge automaatse töötlemise aste, mugav kasutus, mugav hooldus ja suur usaldusväärsus; proovide alusmaterjali kinnitamine, pindade õhutamine ja õhutamise järgne keemilis-mehaaniline poliirumine ning enne ja pärast kontrollimist toimuvate protsesside vaheline seos on mõistlik, et tagada seadme iga funktsiooni töötlemismõõtmete ühtlus. Erinevate riistvarakomponentide ja tarbekaupade konfigureerimisega saab saavutada mitmeid masinakonfiguratsioone ja protsessilahendeid, et vastata kasutajate erinevatele tehnilistele nõuetele, näiteks erinevate materjalide ja suuruste puhul.

Semikoonitehnoloogia kiire arenguga suureneb ka integreeritud rakkude jõudlus ja funktsionaalsuse nõue. TSV (Through Silicon Via) ja TGV (Through Glass Via) tehnoloogiad, kui edasijõudnud pakendus- ja ühendustegevused, võivad tõhusalt parandada kaardi integreeritust ja jõudlust. Sellel seadmel on unikaalne protsessiplaan TSV/TGV-tehnoloogia rakendamiseks.

Seadme eelised:

* Sõltumatu ja liigutav puudutusoperaatsiooniline süsteem;
* Rakendab kaardi lõppu küpsetamist ja polüürimist ning eriliste nurgade ettevalmistust;
* Võib salvestada 100 protsessimenüüd;
* Lõpppunktide tuvastamise EPD funktsioon;
* Valikuline võimalus lisada 3-kanaline toite süsteem;
* Sobib proovide suuruseks kuni 6 tolli ja väiksemateks.

Seadme funktsioon:

MDAM-CMP100/150 spetsiaalne lihvitamise ja poliirimasin, peamune üksus ja kõik varuosa on valmistatud kõrgelt korroosioonivastustest materjalidest. Terve masin on korroosioonivastane, stabiilne, kulgevastane ja rooste vastane, sobib erinevate semikonduktorimaterjalide keemilise mehaanilise lihvitamiseks ja poliirimiseks. Tööruum on eraldatud näitamise ja juhtimise ala ning kasutab digitaalset juhtimissüsteemi puuväelise juhtimisega. See on CNC-juhitav, salvestatav ja taastatav.

Seadme süsteemil on ajastusfunktsioon, mis võib töötada pidevalt 10 tundi ja juhtida liiviketta kiirust. Juhtpaneel asetatakse tööala väljaspool, et vältida rippude lahendite sirgumist juhtpaneelile. Kõik seadmest pärit parameetrid saab kohandada puudutusnäitlejalt. Seadmest protsessiparameetritele on omistatud salvestus- ja taastamisfunktsioonid, et tagada protsessi ühtsus ja korduvus. Plaadimuster adsorbeeritakse fikspindade alumisele poolele vakuumpummi abil, millel on olemas ölieta vakuumpump ning sellel on iseseisev vastupuukaitsefunktsioon.

Kinnipidaja konfiguratsiooni näidis horisontaalne pöörlemine juhtimissüsteemil on lindikufunktsioon, mille lindikuvahemik on 0-100% kohandatav. Lindiku amplituud ja sagedus kiirus võivad olla täpselt seadistatavad juhtpaneelil. Kinnipidaja on varustatud iseseiseva pöörlemiseks juhtimissüsteemiga, mille kiiruse kohandusvahemik on 0-120tpm. See funktsionaalne disain tagab näidise täieliku lindikupuhastamise lihvimise ja puhasmise protsessi jooksul, mis suurendab oluliselt seadme puhasmise suutlikkust ja tõhusust.

Kinnipidaja on varustatud digitaalsega paksuse jälgimistabeliga, mille jälgimistäpsus on 1 μm. Kinnipidaja raudadele avaldatav survetus on pidevalt kohandatav, surve vahemik on 0-3,5kg ja täpsus 2g/cm² ning see on varustatud surve mõõdumise seadmega.

Pindade õhutamise ja poliirumise ketas töötab peamise juhtimissüsteemi kontrolli all ja ketas kiirus on reguleeritav 0–120 pöörde minutis. See kiiruse muutumisvahemik tagab tõhusalt erineva kõvaduse ja suurusega materjalide proovide õhutamise ja poliirumise kiiruse ning võimaldab saavutada kõrgemaid protsessinäitajaid.
Poliirplaatide ja puhastusplaatide vahetamine on lihtne ja kiire, sest sisestatud plaadid võimaldavad seadmel kiiresti üle minna puhastusprotsessilt poliirprotsessile, mis vähendab protsessiaega oluliselt. Lisaks on puhastusplaat varustatud plaatide parandusblokiga, et tagada puhastusplaatide hea tasasus.
Spetsifikatsioon
Mudel
MDAM-CMP100
MDAM-CMP150
Waferi suurus
4 tolli ja väiksemad
6 tolli ja väiksemad
Tööplatvormi diameeter
420mm
420mm
Stantsioon
≤4
≤2
Sisestuspordi
≤3
Elektritoitus
220V, 10A
Aeg
0-10h
Keskkonna temperatuur
20℃~35℃
Plaatide kiirus
0-120vmin
Fikseerimise kiirus
0-120vmin
Näidispunkti fikseerimissüsteemi komponent
Hoidja, rullikael
Kallutamisprotsessi komplekt
Kallutusplaat, plaadi paranduslohk ja silinder
Töötlemisprotsessi komplekt
Töötlemisvede toimetamissüsteem ja töötlemisplaat
Tuurimise komponent
Testimise põhivara, tasandusmootor, rõhkumootor
Plaadide kattlemise ja poliirimise materjalipakett
Kattlemispulb, poliirmasend, poliirklad, vaaks, devaaksimine aine, klaasaluse leht
KKK
1. Hindade kohta:
Meie kõik hinnad on konkurentsivõimas ja läbipaistvad. Hind sõltub seadme konfiguratsiooni ja kohandamise keerukusest.

2. Mustrite kohta:
Võime pakkuda teil näidisetooteid, kuid te peate maksuma mõned tasud.

3. Makse kohta:
Kava kinnitamisel peate meile esmalt maksumaksandama, ning tehas hakkab varude ettevalmistamisega. Kui seade on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame selle.
seadme on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame selle.

4. Toimetamine kohta:
Seadmete tootmise lõpetamise järel saadame teile vastuvõtuvideo, samuti võite te seda vajadusel kontrollida kohtadel.

5. Installimine ja silumine:
Kui seade on teie tööstuses, saadame meie insenerid selle installimiseks ja silumiseks. Selle eest pakume eraldi hindamist.

6. Tagasi kinnitusest:
Meie seadmed on tagatud 12 kuud. Tagakaitse perioodi möödudes, kui mingi osa on katki ja tuleb asendada, tehakse selle eest ainult materjalihind.

Päring

Päring Email WhatsApp WeChat
Üleval
×

Võtke ühendust