EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Planeetarne ühiksihtne magnetronkihitud seade
Sissejuhatus: See seade on lauatasemel planeetlik ühetarget-magnetronkihitudusseade. Kambri alumine osa on roostevabast terasest ja ülemine osa kõrgpuhtast kvartsist. See arvestab nii vaakumitootlust kui ka keerukate prooviplatvormide paigutamise funktsiooni. Seadme välimus on lauatasemel, mis vähendab oluliselt paigalduskohta nõudmisi. Seade on varustatud alalisvooluallikaga ja sobib metallide ning muude juhtivate materjalide sputterdamiseks. Seadme vaakumsüsteem kasutab turbomolekulaarpumbagruppi, millel on kiire imumiskiirus, kõrge lõppvaakum ja erinäoline vaakumitootlus. Sellel seadmel on kompaktne konstruktsioon, täielikud funktsioonid ja see on lihtne kasutada. See on väga sobiv erinevate kihitudustestide jaoks.
