
| Mudel  | MDTS-WT2200  | 
| Tundide arv  |  2 | 
| Töölaudade arv  | 3, Indeksimeetod  | 
| Maheratta telg  | Õhupüramite arv: 2  Püramimootor: 7,5kW muutufrequentsiaalne mootor Kiirus: 0~6000rpm, stseeniliselt kohandatav Koorikspetsifikatsioon: Φ203mm Koorik tüüp: diamantkoorik | 
| Koorikutoomeesüsteem  | Kogus: 2 komplekti  Toitumissüsteemi juhtimismeetod: LM rada ja pallvraske kombinatsioon Liikmesõrmotor: servomotor Vähim toitumiskiirus: 0,1 µm/sec Maksimaalne toitumiskiirus: 50 mm/sec | 
| Töölaud  | Kogus: 3, indeksimood  Spindli motor: servomotor Kiirus: 0~300tpm, astmetult kohandatav Hoidmise meetod: vakuumhoidmine | 
| Töölaua pöörlemisplaat  | Liikmesõrmeviis: servomotor  Pöörde ulatus: 0~240° Positsioneerimise kuju: sensori abiga positsioneerimine | 
| Automaatne paksus  mõõdusüsteem | Mõõtmismeetod: IPG kontaktne online reaalajaline mõõtmine  Mõõtgloome arv: 2 Mõõdusensor: 0,1 µm taset sensor | 
| Automaatne laadimine\/  laadimata süsteem | Kast tüüp: 6-8 tolli kassett, 25 kihti  Automaatne laadimise\/laadimata meetod: vaferimanipulaator kasutatakse, et tagada ohutu transport tippsaaste vaferite puhul Kummipaksus: 150um-1000um | 
| Töölaua puhastusfunktsioon  | Puhastusmeetod: Öliks poliitmine & DI vesi + õhu kahesuunaline hõrdeaegne puhastus  | 
| Automaatne puhastamine/  kuivatussüsteem | Puhastus: DIV noozlipuhastus  Kuivamismeetod: Puhutamine + kuivamine Kiirus: max1000rpm staapiliselt kohandatav | 
| Staatilise Elektri Eemaldamise Süsteem  | Ioonibaar või orion tuulik  | 
| Spindli jäätis  | Temperatuur: 18-22°C  Vooluhulk: 4~8L/min | 
| Juhtimissüsteem  | Juhtimissüsteem: PC juhtimissüsteem, puuväline ekraan, 3-värvi hoiatusvalgus  Hiina/Inglise keel kasutajaliides | 
| Maksimaalne plaadide suurus  | Suurim võimeline 8 tolli plaadi jaoks  | 
| Kiirusvahemik  | 0~6000 TPMin  | 
| Z-telje liikumine    | 160mm    | 
| Z-akseli sõidukiirus  | 0.1~100um/sec  | 
| Z-akseli kiire tagasi võtmine  | 50mm/sec  | 
| Z-telje resolutsioon  | 0.1um  | 
| Paksuse mõõtmise ulatus veebis  | 0~1800um  | 
| Paksuse mõõtmise resolutsioon veebis  | 0.1um  | 


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud