
| Mahlitav veer  | Suurus  | Tollid  |  4,5,6,8 | 
| Veenikasett  | Number  |  - |  2 | 
| Rõhkumine viis  |  - | Püstmaheerimismeetod  | |
| Maheratta telg  | Tüübid  |  - | Ööde telged  | 
| Kogus  |  - |  2 | |
| Kiirus    | rpm    |  0~5000 | |
| Väljalaskevõimsus  | KW    |  5.5/7.5 | |
| Sügavus  | mm  |  150 | |
| Toimetamise kiirus  | um/s  |  0.01~100 | |
| Kiirendatud liikumissuund  | mm/min    |  300 | |
| Resolutsioon    | um  |  0.1 | |
| Töölembrita akseptor  | TÜÜP  |  - | Pallovedelised  | 
| Kogus  |  - |  3 | |
| Hüüdnukutüüp  |  - | Mikroporosa keramika  | |
| Plaadide hüüdnemine  |  - | Vakuumsedus  | |
| Kiirus    | rpm    |  0~300 | |
| Waferi ülekanne  |  - | Robot Arm  | |
|  - | Pöörlev kett  | ||
| Muud funktsioonid  | Waferi keskpunktiga joondamine  |  - | Liikuv pinna joondamine  | 
| Waferi puhastamine  |  - | Vesi ja õhu puhastamine, centrifugaadse kuivamine  | |
| Süsimise kihi puhastamine  |  - | Öliakva puhastamine  | |
| Grinding Wheel  | mm  | φ200  | |
| ONLINE  mõõtmed | Mõõtvasandi ulatus  | um  |  0~1800 | 
| Resolutsioon    | um  |  0.1 | |
| Kordus täpsus    | um  |  ±0.5 | |
| Töötlemine  täpsus | Sisemine waferi täpsus (TTV)  | um  |  ≤2 | 
| Vahe-waferi täpsus (WTW)  | um  |  ±3 | |
| Pindelahkus (Ry)  | um  | 0,13 (2000# lõpuni)  | |
| Välimus  | Välimus värvimine  | um  | Oranž muster  | 
| Mõõdud (L×P×K)  | mm  |  1200×2750×1950 | |
| Kaal  | kg    |  4200 | 










Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud