
Mahlitav veer |
Suurus |
Tollid |
4,5,6,8 |
Veenikasett |
Number |
– |
2 |
Rõhkumine viis |
– |
Püstmaheerimismeetod |
|
Maheratta telg |
Tüübid |
– |
Ööde telged |
Kogus |
– |
2 |
|
Kiirus |
rpm |
0~5000 |
|
Väljalaskevõimsus |
KW |
5.5/7.5 |
|
Sügavus |
mm |
150 |
|
Toimetamise kiirus |
um/s |
0.01~100 |
|
Kiirendatud liikumissuund |
mm/min |
300 |
|
Resolutsioon |
um |
0.1 |
|
Töölembrita akseptor |
Tüüp |
– |
Pallovedelised |
Kogus |
– |
3 |
|
Hüüdnukutüüp |
– |
Mikroporosa keramika |
|
Plaadide hüüdnemine |
– |
Vakuumsedus |
|
Kiirus |
rpm |
0~300 |
|
Waferi ülekanne |
– |
Robot Arm |
|
– |
Pöörlev kett |
||
Muud funktsioonid |
Waferi keskpunktiga joondamine |
– |
Liikuv pinna joondamine |
Waferi puhastamine |
– |
Vesi ja õhu puhastamine, centrifugaadse kuivamine |
|
Süsimise kihi puhastamine |
– |
Öliakva puhastamine |
|
Grinding Wheel |
mm |
φ200 |
|
ONLINE mõõtmed |
Mõõtvasandi ulatus |
um |
0~1800 |
Resolutsioon |
um |
0.1 |
|
Kordus täpsus |
um |
±0.5 |
|
Töötlemine täpsus |
Sisemine waferi täpsus (TTV) |
um |
≤2 |
Vahe-waferi täpsus (WTW) |
um |
±3 |
|
Pindelahkus (Ry) |
um |
0,13 (2000# lõpuni) |
|
Välimus |
Välimus värvimine |
um |
Oranž muster |
Mõõdud (L×P×K) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Kaalu |
kg |
4200 |










Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved