Sissejuhatus:
See seade on kahe sihtmärgiga magnetronkihitudusseade. Sel on kaks magnetronsihtpunkti ja kaks komplekti alalisvoolu toiteallikaid. Dega saab kihtida mitmekihilisi juhtivaid metallkihte. Samal ajal koosneb seade kahest osast: peamisest kambrist ja üleminekukambrist. Üleminekukambris on paigaldatud magnetne tõukerull ja kahe kambriga vahel on paigaldatud vaakumkäiguklapp. Kasutaja saab üleminekukambris proovikorvi laadida ja eelvaakumit teha, samal ajal kui peamises kambris toimub sputterdamine. Pärast peamise kambri sputterdamise lõpetamist saab proovi magnetse tõukerullaga tõsta peamise kambri prooviplatsile. See konstruktsioon vähendab peamise kambri vaakumimiste ja rõhu taastamiste arvu, mis võimaldab mitte ainult aega tõhusalt säästa, vaid tagada ka parema kohaliku vaakumi ning tõhusalt parandada kihituduse kvaliteeti.
Rakendus:
Seda saab kasutada ühe- või mitmekihiliste ferroelektriliste õhukeste kiltide, juhtivate kiltide, sulamkiltide, pooljuhtkiltide, keramiikakiltide, dielektriliste kiltide, optiliste kiltide jne valmistamiseks.