EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Sissejuhatus: See seade koosneb peamiselt roostevabast terasest vaakumkambrist, magnetronhülgatustargetist, aurustuskihikatte seadmest, proovide paigutamiseks mõeldud proovilauast, vaakumpumbagrupist, vaakumimeedikust, õhu sisselaske süsteemist ja juhtsüsteemist. Seadme peamist üksust hallatakse puuteekraanil ja seda jälgitakse temperatuuri regulaatoriga. Selle digitaalne parameetrite liides ja automaatne töö pakuvad kasutajatele suurepärast teadusuuringute ja arenduste platvormi. Vaakumkamber on projekteeritud nii, et target asub selle põhjas, samas kui proovilaud on varustatud soojendus- ja pöördfunktsiooniga, mis tagab ühtlasema kihi moodustumise. Seadme vaakumi saavutamise süsteem koosneb kahest järjast pumbaühikust. Esimese astme pumbaks on kõrgkiiruseline mehaaniline pumbaga, mis vähendab tõhusalt aega normaalrõhust madalvaakumini. Peampumbaks on turbomolekulaarpumbaga, millel on kõrge pumbakiirus ja kiirem vaakumi saavutamise kiirus. Täielik vaakumi saavutamise süsteem on puhas ja kiire.
Rakendus: sobib ühe- või mitmekihiliste ferroelektriliste õhukeste kihide, juhtivate kihide, sulamikihede, pooljuhtkihede, keramiikakihtede, dielektrumkihede, optiliste kihide jne valmistamiseks.
