Sissejuhatus:
See seade koosneb peamiselt roostevabast terasest vaakumkambrist, magnetronhajutusmärgist, aurustuskihiseadmesest, proovide paigutamiseks mõeldud proovilauast, vaakumpumbagrupist, vaakumimeeturiest, õhu sisselaske süsteemist ja juhtsüsteemist. Seadme peamist üksust hallatakse puuteekraanil ja seda jälgitakse temperatuuriregulaatoriga. Selle digitaalne parameetrite liides ja automaatne töö pakuvad kasutajatele suurepärast teadusuuringute ja arenduste platvormi. Vaakumkamber on kujundatud nii, et märgis asub selle põhjas, ja proovilaud on varustatud soojendus- ja pöörlemisfunktsiooniga, mis tagab ühtlasema kihi moodustumise. Seadme vaakumi saavutamise süsteem kasutab kaheastmelist vaakumpumbagruppi. Esimese astme pumbaks on kõrgkiiruseline mehaaniline pumbaga, mis vähendab tõhusalt aega normaalrõhust madalvaakumini. Peampumbaks on turbomolekulaarpumbaga, millel on kõrge pumbamiskiirus ja kiirem vaakumi saavutamise kiirus. Täielik vaakumi saavutamise süsteem on puhas ja kiire.
Rakendus:
Seda saab kasutada ühe- või mitmekihiliste ferroelektriliste õhukeste kiltide, juhtivate kiltide, sulamkiltide, pooljuhtkiltide, keramiikakiltide, dielektriliste kiltide, optiliste kiltide jne valmistamiseks.