Sissejuhatus:
Seade on miniatuursetatud, säilitades kõrgvaakumilise roostevabast terasest kambri, samal ajal lihtsustades teisi mehhanisme, mis piirab seadme välimust laua tasemele ja vähendab oluliselt paigalduskohta nõudeid. Seade on varustatud alalisvoolu- ja raadiosagedusvoolu(toite)allikaga. Alalisvoolu sihtmärk sobib metallide ja muude juhtivate materjalide sputterdamiseks ning raadiosagedusvoolu allikat saab kasutada erinevate mittemetallide ja metallioksiidide sputterdamiseks. Seadme vaakumsüsteem kasutab täielikult importitud vaakumpumpa, millel on kiire imumiskiirus, kõrge lõppvaakum ja väga hea vaakumitootlus. Sellel seadmel on kompaktne konstruktsioon, täielikud funktsioonid ja see on lihtne kasutada, mistõttu sobib see väga hästi erinevate pinnakattekatsete tegemiseks.
Rakendus:
Seda saab kasutada metallist õhukeste kihtide, elektroonikavaldade, optiliste valdkondade ja erikeraamikate valmistamiseks. Seda saab kasutada laboris SEM-proovide ettevalmistamiseks.