Sissejuhatus:
See seade on kahe sihtmärgiga magnetronkihitudusseade. See konfiguratsioon kasutab kõrgvaakumset roostevabast terasest kambrit, eesavatavat disaini ja uksele paigaldatud kvartsvaatlusaken, et lihtsustada eksperimentide vaatlust ja salvestamist. Samal ajal on seadmel pöörlev soojendusprooviplatvorm, mis võimaldab tõhusalt parandada kihi ühtlust ja kihi kvaliteeti. Ülemise kaane peal on paigaldatud üks bafelikomplekt ning kahe sihtmärgi vahetamiseks pööratakse bafeleid, et saavutada mitmekihiline kihitudus. Selle seadme kasutamiseks on vajalik kõrgvaakumine molekulaarpumbagrupp. Kasutajad saavad valida importmärkade väikseid molekulaarpumpe, et veelgi kokku hoida paigaldusala. Samuti saab seda mudelit varustada valikuliselt kihi paksuse mõõtmise komponendiga, mis võimaldab reaalajas jälgida kihi paksuse andmeid ja pakkuda usaldusväärseid parameetreid eksperimentaalprotsessile.
Rakendus:
Seda saab kasutada metallist õhukeste kihtide, elektroonikavaldkonnas, optikavaldkonnas, erikeraamikas jne valmistamiseks. Seda saab kasutada laboris SEM-proovide ettevalmistamiseks.