





|
Plasma
|
RF
|
RF
|
||
|
Võimsus
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
|
BIAS
|
600w(valikuline)
|
600w(valikuline)
|
||
|
Rakenduskohad
|
4~8 tolli
|
4~8 tolli
|
||
|
Ühe töötlemise lõigete arv
|
1
|
2
|
||
|
Välimõõdud
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
|
Süsteemi juhtimine
|
Tööstuslik juhtimissüsteem
|
Tööstuslik juhtimissüsteem
|
||
|
Automaatsete toimingute tasand
|
automaatne
|
automaatne
|
||









Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud