Täpsuskontrollitud CMP-süsteem

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Täpsuskontrollitud CMP-süsteem

Seadmete ülevaade:

Täpsuskemilis-mehaaniline poliirimsüsteem (CMP) kasutatakse peamiselt pooljuhtide põhikristallplaatide, näiteks ränist, ränidioksiidist ja indiumantimoonidist fokaalpinnakristallplaatide lihvimiseks ja õhendamiseks ning aluse, pinnase ja otsapinna kemilis-mehaaniliseks poliirumiseks.

Terve seade ja selle kõik osad on täielikult korrosioonikindlad ning protsessiparameetrid saab seadistada puutetundliku ekraaniga interaktiivse liidese kaudu.

Töödeldavate proovide suurus:

Proovi suurus ≤ 152 mm / 6 tolli

Töödeldav paksus on 50 μm kuni 10 mm

Saavutatavad protsessi näitajad:

1. Ø75 mm plaadi kogupaksuse kõrvalekalle (TTV) on 2 μm piires;

2. Ø100 mm plaadi kogupaksuse kõrvalekalle (TTV) on 3 μm piires;

3. Ø150 mm plaadi kogupaksuse kõrvalekalle (TTV) on 4 μm piires.

Töödeldavate proovide tüübid:

Silikon, silikoonkarbiid, teemant, keraamika, galliumnitraat, kvarts, galliumantimoon, indiumfosfiid, galliumarseen, kaadmiumtsinktelluuriid, elavhõbekaadmiumtelluuriid, liitiumniobiaat ja muud pooljuhtmaterjalid.

Seadme omadused:

1. Proovi paksuse reguleerimiseks lõpp-punkti tuvastusfunktsiooni realiseerimine.

2. Lõike- ja poliiriplaadi temperatuuri juhtimise ja jahutusfunktsioon reaalajas võrgus.

3. Mitmekanalne toitumissüsteem.

4. Lõike- ja poliiriplaadi automaatne puhastusfunktsioon.

5. Plaadi automaatne remontimisfunktsioon.

6. Kinnitusseade on varustatud digitaalse paksusemonitoringulauaga, mille monitorimistäpsus on 0,1 μm.

Tehnilised parameetrid:

Seadme konfiguratsioon:

KKK

1. Hindade kohta:

Meie kõik hinnad on konkurentsivõimas ja läbipaistvad. Hind sõltub seadme konfiguratsiooni ja kohandamise keerukusest.

2. Mustrite kohta:

Võime pakkuda teil näidisetooteid, kuid te peate maksuma mõned tasud.

3. Teave maksmise kohta:

Kava kinnitamise järel peate meile esmakordselt maksumaks kaupade ettevalmistamise hoiustena. Kui seadmed on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame need edasi.

4. Toimetamine kohta:

Seadmete tootmise lõpetamise järel saadame teile vastuvõtuvideo, samuti võite te seda vajadusel kontrollida kohtadel.

5. Installimine ja silumine:

Kui seade on teie tööstuses, saadame meie insenerid selle installimiseks ja silumiseks. Selle eest pakume eraldi hindamist.

6. Tagasi kinnitusest:

Meie seadmed on tagatud 12 kuud. Tagakaitse perioodi möödudes, kui mingi osa on katki ja tuleb asendada, tehakse selle eest ainult materjalihind.

7. Poodimüügiteenindus:

Kõikidel masinatel on üle aasta kehtiv garantiiaeg. Meie tehnilised insenerid on alati saadaval, et pakkuda seadme paigaldus-, seadistus- ja hooldusteenuseid. Eriliste ja suurte seadmete puhul võime pakkuda kohapealse paigaldus- ja seadistusteene.