




Kiibi materjal |
Si ja muud |
Chipi suurus |
0,3~30 mm paksus: 0,05 ~1,0 [mm] |
Tarnimise meetodid |
2,4 tolline taldrik (waffle-taldrik, gel-pak, metalltaldrik jne) |
Alusmaterjal |
SUS, Cu, Si, töödetai, keraamika ja muud |
Kassetteide kogused |
2 tolline kassett kuni 8 või 4 tolline kassett kuni 2; Kassett saab vabalt seada čipidele või alustele. |
Substraadi välimised mõõtmed |
15~50 [mm] & 8 [tolline] ketas |
Aluse paksus |
Lame põhjaplaat 0,1~3,0[mm]; Torukujuline alusplaat: A:0,1~2[mm] B:≤5[mm], C:≤7[mm] Minimaalne kaugus čipi ja kere siseseina vahel D: 21 mm |
UPH |
Umbes 12 [sek/tsükkel] [Tsükli aja tingimused] |
Z telg |
Resolutsioon |
0,1[μm] |
|
Liikumisvahemik |
200[mm] |
||
Kiirus |
Maks. 250[mm/sek] |
||
θ telg |
Resolutsioon |
0,000225[°] |
|
Liikumisvahemik |
±5[°] |
||
Kiibi hoidmine |
Vaakumimeetodil sukkeldumine |
||
Retsepti vahetus |
ATC (automaatne tööriistavaheti) meetod. Maksimaalne vahetatavate tihendite arv: 20x20[mm] 6 tüüpi *2 tüüpi, kui 30x30[mm] (valikuliselt) on kasutusel. |
||
Määra vahemik |
Madala koormuse vahemik: 0,049 kuni 4,9 [N] (5 kuni 500 [g]) Kõrge koormuse vahemik: 4,9 kuni 1000 [N] (0,5 kuni 102 [kg]) * Mõlemat vahemikku hõlmav koormuse reguleerimine pole võimalik. * Ultraheli sarv on mõeldud ainult kõrgekoormussektorile |
Surve täpsus |
Madala koormuse vahemik: ±0,0098 [N] (1 [g]) Kõrge koormuse vahemik: ±5 [%] (3σ) * Mõlemad täpsused kehtivad RT tegelikule koormusele. |
Soojendamismeetod |
Pulseeriv soojusmeetod (keraamiline küttekeha) |
Seadistatud temperatuur |
RT~450[°C] (1[°C] samm) |
Temperatuuri tõusukiirus |
Maks 80[°C/sec] (ilma keraamilise tihendita) |
Temperatuurijaotus |
+5[°C] (30x30[mm] ala) |
Jahutusfunktsioon |
Koos soojusköögiviljaga, töö jahutusfunktsioon |
Võnkesagedus |
40[kHz] |
Vibreerimise vahemik |
Umbes 0,3 kuni 2,6[µm] |
Soojendamismeetod |
Pidev soojuse meetod (ultraheli sarv) |
Seadistatud temperatuur |
RT~250[°C] (1[°C] samm) |
Tööriistade suurus |
M6 tööriista vahetustüübid (kruvi tüüp) *Tuleb vahetada jäigale tüübile suurema kui 7x7[mm] kiibi puhul. |
Muud |
Tuleb asendada pulsilülituse pea. |
Kinnitusala |
50×50 [mm] |
Soojendamismeetod |
Keraamiline küttekeha |
Seadistatud temperatuur |
RT~450[°C] (1[°C] samm) |
Temperatuurijaotus |
+5[°C] |
Temperatuuri tõusukiirus |
Maks 70[°C/s] (ilma keraamilise tihvtita) |
Jahutusfunktsioon |
Saadaval |
Tööde hoidmine |
Vaakumimeetodil sukkeldumine |
Retsepti vahetus |
Tihvi vahetus |
XY-laud |
Pidev küttekeha |
||
Peamise liimimise etapp |
Kinnitusala |
200×200 [mm] (48 [tolline] pindala) |
|
Soojendamismeetod |
Pidev soojus |
||
Seadistatud temperatuur |
200×200 [mm]: RT kuni 250[°C] (1[°C] samm) |
||
Temperatuurijaotus |
±5% (200×200 [mm]) |
||
Tööde hoidmine |
Vaakumimeetodil sukkeldumine |
||
Retsepti vahetus |
Tihvi vahetus |
||



Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud