Mudel: MDST-6100
ICP kuivplasma põletaja sobib kasutamiseks näiteks desuumimise (eelkäsitlus ja jääkide eemaldamine), polümeeride eemaldamise (PI, BCB, PBO) ja ioonimplantatsiooni järgse fotopoliimeeri eemaldamiseks; kambrisse mahub 8-tolline proov (samuti on ühilduv 4-tolliste ja 6-tolliste proovidega).
ICP kuivplasma fotoresistide eemaldaja
ICP kuivplasma põletaja sobib kasutamiseks näiteks desuumimise (eelkäsitlus ja jääkide eemaldamine), polümeeride eemaldamise (PI, BCB, PBO) ja ioonimplantatsiooni järgse fotopoliimeeri eemaldamiseks; kambrisse mahub 8-tolline proov (samuti on ühilduv 4-tolliste ja 6-tolliste proovidega).
Seadme välimus allub pidevatele uuendustele ja kohandustele; tegelikult tarnitud toode on kindlaks määrav.
Eelis:
Kõrge plasmaioonide ioniseerumis- ja lagunemisaste
Pärast plasma töötlemist on taastatavus kõrge
Kuiv etšeerimine, mitte mingit saastekallutust
Surve ja temperatuuri reguleerimine liblikaklappide abil
Võimaldab plasma säilitamist kõrgel rõhul
Kõrgpingeallika ja ioongeneraatori eraldamine
Mikrolainete ühendus ja magnetahela ühilduvus
Võimaldab täita klientide nõudmisi
Madal temperatuur töötlemise ajal
Kiire reageerimiskiirus ja lühike reageerimisaeg
Mudel |
MDST6100 |
Plasmaallikas |
raadiosagedus |
võimsus |
1000W |
Rakendusalased |
8 tolli (ühildub 4- ja 6-tolliste seadmetega) |
Kasti suurus |
25 tüki |
Üldmõõtmed |
P1696xL2170xK2146 mm |
Süsteemi juhtimine |
PLC |
Materjalikastri süsteem |
Automaatne |
Seadme tegelikud fotod:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
