Elektritoitus |
220v 10A |
Waferi suurus |
4”/100mm 6”/150mm 8”/200mm 12”/300mm |
Töötava kettetelje diameeter |
520mm, 780mm |
Töötava kettetelje kiirus |
0-120vmin |
Fikseerija kiirus |
0-120vmin |
Fikseerija Swing sagedus |
0-30spm |
Waferi tagurpindu surve |
0-150psi |
Surve waferi keskpunktis |
0-50psi |
Ajastatud aeg |
0-10 h |
Toitumiskanal |
≥2 |
Toimetamise kiirus |
0-150ml/min |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved