Reaktiivne ioonhape (RIE) on oluline tehnika mikroelektroonikas ja pooljuhtide tootmisel. RIE-seadmed vajavad korralikuks tööks gaase, nagu hapnik, lämmastik, nitriidi/hüdriidi segu ning heksafluorväävel. Igal neist gaasidest on unikaalne funktsioon materjalide ioonhappe rakendamisel mikroskaalal.

Hulgimüük reaktiivse ioonhappe seadmeid

QTH Leidmine headed pakkumised RIE-seadmete osas on raske, kuid on mõni koht, kuhu sa võid vaadata. Parim valik on vaadata erinevaid online tööstusliku seadmete turge. Veebilehed pakuvad tavaliselt mitmeid erinevaid müüjaid, mis võimaldab sul hinnasid võrrelda ja leida parimad pakkumised. Teine suurepärane valik on tööstuse messid. Tootjad ja ostarid kohtub seal ja mõnikord saab leida pakkumisi viimaseima RIE-tehnoloogia kohta.

Levinud probleemid reaktiivse ioonhappega

RIE-riistvaras võib selle töö käigus tekkida mitmeid levinud probleeme. Suur murekoht on seotud gaaside endiga. Aeg-ajalt võib gaasivool muutuda rütmiliselt, mis viib ebaühtlaseks etšimiseks. Gaaside, nagu lämmastik ja vesinik, gaasibilanss võib mõjutada materjali etšimise kvaliteeti. See võib põhjustada vigu lõpptulemuses ja seda keegi ei taha.

Reaktiivse ioonetšimise optimeerimine tingimustes 95% N2 ja 5% H2

Reaktiivne ioonetšimine (RIE) on väärtuslik töötlemismeetod materjalide jaoks Kaablitöötluseseadmed etšimisprotsessi jaoks sobiv gaasikompositsioon, näiteks 95% lämmastikku ja 5% vesinikku, et asju parandada. See kombinatsioon aitab luua materjalidele puhtaid, teravaid mustreid. Siin on soovitused, kuidas seda protsessi maksimaalselt ära kasutada.

Mis on heksavärske fluoruurgaas reaktiivses ioonetšimises

Kasutamisel on mitmeid suurepäraseid eeliseid tippsaade pakendusseade reaktiivse ioonitöötlemise toiteseguna. Üheks põhjuseks on see, et SF6 on tõesti suurepärane selliste materjalide liigutamisel nagu räni ja ränidioksiid, mida kasutatakse laialdaselt elektroonikas. See tähendab, et kui kasutate väävlihekshafluoriidi, saate puhtaid ja täpseid mustreid väikeste elektroonikakomponentide jaoks.

Kus saada lisateavet reaktiivse ioonitöötlemise kohta

Kui soovite süveneda Lõpp-punktisertimise seade on olemas mitmeid allikaid, mis võivad aidata. Esiteks saate vaadata internetti. On olemas ka palju veebilehti, foorumeid ja blogisid tehnoloogia ja inseneriteaduste teemadel. Need platvormid pakuvad tavaliselt artikleid, mille on kirjutanud eksperdid RIE valdkonnas, ja jagavad oma mõtteid ning kogemusi selle meetodiga.